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absolutdrucksensor
absolute-pressure type of pressure sensor
Last Update: 2014-11-28
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kapazitiver absolutdrucksensor
capacitive absolute pressure sensor and method
Last Update: 2014-11-28
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mikromechanisch hergestellter absolutdrucksensor
micro-machined absolute pressure sensor
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absolutdrucksensor mit schwingendem mikromechanischem balken
a thin film resonant microbeam absolute pressure sensor
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oberflÄchig mikrohergestellter absolutdrucksensor und dessen herstellungsverfahren
surface-micromachined absolute pressure sensor and a method for manufacturing thereof
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kapazitiver absolutdrucksensor und verfahren zur herstellung einer vielzahl solcher sensoren.
capacitive absolute pressure sensor and procedure for fabrication of a plurality of such sensors.
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mikromechanischer silizium-absolutdrucksensor mit rÜckseitiger hermetischer kappe und herstellungverfahren hierfÜr
an absolute micromachined silicon pressure sensor with backside hermetic cover and method of making the same
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