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verfahren zur herstellung von dielektrischen zwischenschichten mit niedriger dielektrizitÄtskonstante fÜr beol-verbindungsleitungen mit verbesserter haftung und niedriger fehlerdichte
method of fabicating low-dielectric constant interlevel dielectric films for beol interconnects with enhanced adhesion and low-defect density
das system arbeitet dynamisch und adaptiert sich automatisch an oberflächenstruktur und farbe des materials. deshalb ist im gegensatz zu inspektionssystemen anderer hersteller in den meisten fällen kein aufwändiges teach-in der oberflächenstruktur erforderlich, es reicht aus, lediglich die relative amplitude der textur und die größe des kleinsten zu berücksichtigenden defekts einzugeben.ein tool für das management von klassifizierung und fehlerdichte erlaubt es, einfach regeln für detektion und klassifikation aufzustellen.
unlike competing inspection systems, these systems from pixargus usually do not require any time-consuming teach-in of the surface structure. it is only necessary to enter the relative amplitude of the texture and the size of the smallest to be detected defect. by means of a dedicated tool for the management of defect classes and densities, simple detection and classification rules can be formulated.