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verfahren zur plasmaerzeugung durch kapazitive gleichmässige entladungen und implementierungsvorrichtung dafür
method for plasma generation by means of capacitive uniform discharges, and device for implementing same
Last Update: 2014-11-28
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verfahren zur plasmaerzeugung durch kapazitive mehrpolig-behinderte entladung und implementierungsvorrichtung dafür
method for plasma generation by means of a capacitive multipolar-barrier discharge, and device for implementing same
Last Update: 2014-11-28
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