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plasmabehandlungsverfahren
plasma processing method
Last Update: 2014-11-28
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plasmabehandlungsanlage und plasmabehandlungsverfahren
plasma processing system and plasma processing method
Last Update: 2014-11-28
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plasmabehandlungsverfahren mit gasdurchströmung.
gas flow in plasma treatment processes.
Last Update: 2014-11-28
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plasmabehandlungsverfahren und -vorrichtung
plasma processing method and plasma processing apparatus
Last Update: 2014-11-28
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gepulstes plasmabehandlungsverfahren und vorrichtung
pulsed plasma processing method and apparatus
Last Update: 2014-11-28
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plasmabehandlungsverfahren unter verwendung von wasserstoffgas.
plasma treating method using hydrogen gas.
Last Update: 2014-11-28
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verfahren zum ersetzen einer elektrodenanordnung für plasmabehandlungsverfahren
a method of replacing an electrode assembly for plasma processes
Last Update: 2014-11-28
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plasmabehandlungsverfahren und verfahren zur herstellung einer halbleiter-anordnung
plasma treatment method and manufacturing method of semiconductor device
Last Update: 2014-11-28
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elektrode fÜr plasmabehandlungsverfahren und verfahren zur herstellung und anwendung derselben
electrode for plasma processes and method for manufacture and use thereof
Last Update: 2014-11-28
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plasmabehandlungsverfahren nach einem der ansprüche 1 bis 3, bei dem die entladungsfrequenz nicht niedriger als 31 mhz ist.
the plasma processing method according to any one of claims 1 to 3, wherein the discharge frequency is not lower than 31 mhz.
Last Update: 2014-12-05
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