Results for resiststruktur translation from German to English

verfahren zur erzeugung einer resiststruktur
method for forming resist pattern

verfahren zur erzeugung einer resiststruktur.
process for obtaining a resist pattern.

resiststruktur-bildungsverfahren und zusammengesetztes spÜlmittel
resist pattern forming method and composite rinse agent

verfahren zur ausbildung einer dicken resiststruktur
method of forming thick resist pattern

positivphotoresistzusammensetzung und verfahren zur ausbildung einer resiststruktur
positive photoresist composition and method of forming resist pattern

prozess zur herstellung einer resiststruktur und eines leitermusters
process for producing resist pattern and conductor pattern

positiv-resistzusammensetzung und verfahren zur ausbildung einer resiststruktur
positive resist composition and method of forming resist pattern

entwicklungslÖsungszusammensetzung fÜr die lithographie und verfahren zur bildung einer resiststruktur
developing solution composition for lithography and method for resist pattern formation

verfahren zur herstellung einer resiststruktur, positive resistzusammensetzung und schichtprodukt
method of forming resist pattern, positive resist composition, and layered product

positiv-resistzusammensetzung und verfahren zur ausbildung einer resiststruktur daraus
positive resist composition and method of forming resist pattern from the same

resistzusammensetzung fÜr einen flÜssigkeitseintauchbelichtungsprozess und verfahren zur bildung einer resiststruktur damit
resist composition for liquid immersion exposure process and method of forming resist pattern therewith

verdickungsmaterial für resiststruktur und verfahren zur resiststrukturbildung sowie halbleiterbauelement und herstellungsverfahren dafür
resist pattern thickening material and process for forming resist pattern, and semiconductor device and process for manufacturing the same

resistmaterial fÜr einen flÜssigkeitsimmersionsbelichtungsprozess und verfahren zur ausbildung einer resiststruktur mit dem resistmaterial
resist material for liquid immersion exposure process and method of forming resist pattern with the resist material

polymerverbindung, photoresistzusammensetzung mit einer derartigen polymerverbindung und verfahren zur ausbildung einer resiststruktur
polymer compound, photoresist composition containing such polymer compound, and method for forming resist pattern

zusammensetzung zur bildung eines antireflexionsfilms, beschichtetes produkt und verfahren zur herstellung einer resiststruktur
composition for forming antireflection film, layered product, and method of forming resist pattern

Ätzfester film, herstellungsverfahren dafÜr, oberflÄchengehÄrtete resiststruktur, herstellungsverfahren dafÜr, halbleiterbauelement und herstellungsverfahren dafÜr
etching resistant film, process for producing the same, surface cured resist pattern, process for producing the same, semiconductor device and process for producing the same

positivresistzusammensetzung des chemischen verstÄrkungstyps, resistbeschichtetes material, verfahren zur ausbildung einer resiststruktur und prozess zur herstellung eines halbleiterbauelements
positive resist composition of chemical amplification type, resist coated material, method of forming resist pattern, and process for producing semiconductor device

material zur bildung eines resist-schutzfilms fÜr einen immersionsbelichtungsprozess, aus solchem material hergestellter resistschutzfilm und verfahren zur bildung einer resiststruktur unter verwendung eines solchen resistschutzfilms
material for forming resist-protecting film for immersion exposure process, resist-protecting film made of such material, and method for forming resist pattern using such resist-protecting film