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German

English

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German

Die Strahlungsleiterschalteranordnung mit wenigstens einem Strahlungsleiterschalter wird aus einem Sandwich-Wafer hergestellt.

English

The switching arrangement for a radiation guide comprises at least one switch for a radiation guide and is produced from a sandwich wafer.

Last Update: 2014-11-28
Usage Frequency: 1
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German

Anordnung (4, 120) nach Anspruch 1 oder 2 mit wenigstens einem Strahlungsleiterschalter (2, 100, 100aa - 100dd; 166) , der einen Halter (19, 103; 166a-d) zum Halten des zwischen den Strahlungsleiterenden (6, 133aa - 133dd, 134aa-134dd; 170a-f) verschiebbaren Schaltteils (7, 101, 101aa - 101dd; 165a-d) hat, jeder Halter (19, 103; 166a-d) wenigstens eine mit ihm verbundene erste Kammstruktur (23a, 23b; 115, 116) aufweist, eine zur ersten Kammstruktur (23a, 23b) passende zweite, ortsfeste Kammstruktur ( 24a, 24b; 117, 119 ) vorhanden ist, deren Kammzinken (24a, 24b) auf Lücke zur ersten Struktur (35) angeordnet sind und an beide Kammstrukturen (23a, 23b, 24a, 24b; 115, 116, 117, 119) eine erste und eine zweite elektrische Spannung zur Erzeugung einer elektrostatischen Verschiebekraft anlegbar ist, wobei jeder Zinken wenigstens einer der Kammstrukturen (23a, 23b, 24a, 24b) in seinem freien Zinkenendbereich eine Querschnittsverbreiterung aufweist, um die betreffende Kammstruktur mit einer elektrostatischen Spannungsbelegung und damit den Schaltteil (7.2, 101, 101aa - 101dd; 165a-d) in einer stabilen Lage zu halten.

English

The arrangement (4, 120) as claimed in claim 1 or 2 having at least one radiation guide switch (2, 100, 100aa - 100dd; 166) which has a holder (19, 103; 166a-d) for holding the switching part (7, 101, 101aa - 101dd; 165a-d) which can be moved between the radiation guide ends (6, 133aa - 133dd, 134aa - 134dd; 170a-f), each holder (19,103; 166a-d) has at least one first combed structure (23a, 23b; 115, 116) which is connected to it, a second fixed-position comb structure (24a, 24b; 117, 119) which matches the first comb structure (23a, 23b) is provided, whose comb tines (24a, 24b) are arranged with a gap with respect to the first structure (35) , and a first and a second electrical voltage can be applied to the two comb structures (23a, 23b, 24a, 24b; 115, 116, 117, 119) in order to produce an electrostatic movement force, wherein each tine of at least one of the comb structures (23a, 23b, 24a, 24b) has in its free tine end region a region with a broadened cross section, in order to hold the relevant comb structure with an electrostatic voltage applied to it, and hence the switching part (7.2, 101, 101aa - 101dd; 165a-d) in a stable position.

Last Update: 2014-12-05
Usage Frequency: 1
Quality:

German

Strahlungsleiterschalteranordnung (4,120) mit wenigstens einem Strahlungsleiterschalter (2, 100, 100aa - 100dd, 166) , hergestellt aus einem Sandwich-Wafer (39) mit einem Substrat (70), einer Deckschicht (73) , und einer elektrisch isolierenden Zwischenschicht ( 71 ), wobei jeder Strahlungsleiterschalter (2, 100, 100aa - 100dd; 166) wenigstens einen verschiebbaren Schaltteil (7, 101, 101aa - 101dd; 152 ; 165a-d) sowie wenigstens zwei in einer Ebene zu liegen kommende Strahlungsleiterenden (6, 133aa - 133dd, 134aa- 134dd; 170a-f) hat, welche derart nah benachbart zueinander angeordnet sind, dass mit dem Schaltteil (7.1, 7.2, 101, 101aa - 101dd; 165a-d) aus einem Strahlungsleiterende (6, 133aa - 133dd, 134aa-134dd; 151a, 151b; 170a-f) austretende Strahlung auf ihrem optischen Weg zu einem anderen Leiterende (6, 133aa - 133dd, 134aa- 134dd; 151a, 151b; 170a-f) abblockbar bzw. in dieses reflektierbar ist, wobei der den Schaltteil (7, 101, 101aa-101dd; 152; 165a-d) aufnehmende Zwischenraum (5, 135aa - 135dd; 154; 171) zwischen den Leiterenden (6, 133aa - 133dd, 134aa- 134dd; 151a, 151b; 170a-f) mit einer einen vorgegebenen Brechungsindex aufweisenden Index-Matching-Flüssigkeit gefüllt ist, wobei der strahlungsführende Kern (8) jedes Strahlungsleiters (49; 169a-f) am Leiterende über die Faserstirnfläche hervorsteht und der hervorstehende Bereich derart verjüngend ausgebildet ist, dass in Zusammenwirkung mit dem Brechungsindex der Index-Matching-Flüssigkeit und dem freien Kernprofil (13) im mit Flüssigkeit gefüllten Raum (5, 135aa - 135dd; 154; 171) eine Strahlungskollimation (14) erreichbar ist.

English

A radiation guide switching arrangement (4, 120) having at least one radiation guide switch (2, 100, 100aa - 100dd, 166), produced from a sandwich wafer (39) with a substrate (70), a covering layer (73), and an electrically insulating intermediate layer (71), with each radiation guide switch (2, 100, 100aa - 100dd, 166) having at least one moveable switching part (7, 101, 101aa - 101dd; 152; 165a-d) and at least two radiation guide ends (6, 133aa - 133dd, 134aa- 134dd; 170a-f) which come to rest in a plane and are arranged closely adjacent to one another such that radiation which emerges from one radiation guide end (6, 133aa - 133dd, 134aa - 134dd; 151a, 151b; 170a-f) can be blocked on its optical path to another guide end (6, 133aa -133dd, 134aa - 134dd; 151a, 151b; 170a-f), or can be reflected into this other guide end, by means of the switching part (7.1, 7.2, 101, 101aa - 101dd; 165a-d), wherein the intermediate space (5, 135aa - 135dd; 154; 171) which holds the switching part (7, 101, 101aa - 101dd; 152; 165a-d) between the guide ends (6, 133aa - 133dd, 134aa - 134dd; 151a, 151b; 170a-f) is filled with an index matching liquid which has a predetermined refractive index, wherein the radiation-carrying core (8) of each radiation guide (49; 169a-f) projects the fiber front face at the guide end and is designed to taper such that radiation collimation (14) can be achieved by interaction with the refractive index of the index matching liquid and the free core profile (13) in the space (5,135aa -135dd; 154; 171) which is filled with liquid.

Last Update: 2014-12-05
Usage Frequency: 1
Quality:

German

Verfahren zur Herstellung der Strahlungsleiterschalteranordnung (4, 120) mit wenigstens einem einen Schaltteil (7, 101, 101aa - 101dd; 165a-d) aufweisenden Strahlungsleiterschalter (2, 100, 100aa - 100dd; 166), wobei das Schaltteil (7.1, 7.2, 101, 101 aa - 101 dd; 165a-d) vor wenigstens zwei in einer Ebene liegenden Strahlungsleiterenden (6, 133aa - 133dd , 134aa- 134dd; 170a-f) verschiebbar ist, nach einem der Ansprüche 1 bis 9, hergestellt aus einem Sandwich-Wafer (39), der ein Substrat (70), eine Deckschicht (73) und eine elektrisch isolierende Zwischenschicht (71) hat, wobei aus dem Sandwich-Wafer (70) die Strahlungsleiterschalteranordnung (4; 120) u.a. mit dem Schaltteil (7, 101, 101aa - 101dd; 165a-d) und den Führungskanälen (1.1a - 1.1d; 1.2a -1.2d, 131) für die Strahlungsleiter (49; 121a -121d, 122a -122d; 169a-f) bzw. deren Enden (6; 133aa -133dd, 134aa -134dd; 170a-f) durch einen Ätzvorgang erzeugt wird, bei dem in unmittelbarer Nähe der jeweils senkrecht zur Ebene verlaufenden Außenseiten (74a, 74b) des Schaltteils (7, 101, 101aa - 101dd; 165a-d) jeweils wenigstens ein Opfersteg ( 75a, 75b) erzeugt wird, um einen von der Senkrechten zur Ebene abweichenden Verlauf der Außenseiten (74a, 74b) zu vermeiden.

English

A method for producing the radiation guide switching arrangement (4, 120) having at least one radiation guide switch (2, 100, 100aa - 100dd; 166) which has a switching part (7, 101, 101aa - 101dd; 165a-d) , in which case the switch part (7.1, 7.2, 101, 101aa - 101dd; 165a-d) can be moved in front of at least two radiation guide ends (6, 133aa -133dd, 134aa - 134dd; 170a-f) which lie in a plane, as claimed in one of claims 1 to 9, produced from a sandwich wafer (39) which has a substrate (70), a covering layer (73) and an electrically insulating intermediate layer (71) , wherein the radiation guide switching arrangement (4; 120) is produced from the sandwich wafer (70), inter alia with the switching part (7, 101, 101aa - 101dd; 165a-d) and the guide channels (1.1aa - 1.1d; 1.2a - 1.2d, 131) for the radiation guides (49; 121a - 121d, 122a -122d; 169a-f) and their ends (6, 133aa - 133dd, 134aa - 134dd; 170a-f) by means of an etching process, during which at least one sacrificial web (75a, 75b) is in each case produced in the immediate vicinity of each of the outer faces (74a, 74b), which run at right angles to the plane, of the switching part (7, 101, 101aa - 101dd; 165a-d), in order to avoid the outer faces (74a, 74b) having a profile which differs from the normal to the plane.

Last Update: 2014-12-05
Usage Frequency: 1
Quality:

German

Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, mit mehrere Schaltteile (165a-d) in einem Strahlungsleiterschalter (166), wobei jedes Schaltteil (165a-d) derart vor jeweils zwei Strahlungsleiterenden (170c/170d; 170b/170d; 170e/170d; 170f/170d) zweier Strahlungsleiter (169c/169d; 169b/169d; 169e/169d; 169f/169d) schiebbar ist, dass eine Strahlungsüberkopplung bzw. dämpfung möglich ist und vorzugsweise die Schaltteile (165a-d) den Strahlungsleiterenden (170a-d) derart zugeordnet sind, dass Ausgangsstrahlungen von mehreren Strahlungsleiterenden (170a, 170b, 170c, 170e, 170f) jeweils einzeln je nach Schaltstellung eines der Schaltteile ( 156a-d ) in ein einziges Strahlungsleiterende (170d) bzw. insbesondere die Ausgangsstrahlung aus einem einzigen Strahlungsleiterende jeweils einzeln je nach Schaltstellung eines der Schaltteile in eines der anderen Strahlungsleiterenden einkoppelbar ist.

English

The arrangement as claimed in one of claims 1 to 6, with a number .of switching parts (165a-d) in a radiation guide switch (166) , in which case each switching part (165a-d) can be pushed in front of in each case two radiation guide ends (170c/170d; 170b/170d; 170e/170d; 170f/170d) of two radiation guides (169c/169d; 169b/169d; 169e/169d; 169f/169d) such that radiation coupling and/or attenuation are/is possible, and the switching parts (165a-d) are preferably associated with the radiation guide ends (170a-d) such that output radiation from a number of radiation guide ends (170a, 170b, 170c, 170e, 170f) can in each case be coupled individually, depending on the switching position of one of the switching parts (156a-d) , into a single radiation guide end (170d) and/or, in particular, the output radiation from a single radiation guide end can in each case be coupled individually, depending on the switching position of one of the switching parts, into one of the radiation guide ends.

Last Update: 2014-12-05
Usage Frequency: 1
Quality:

German

Jeder Strahlungsleiterschalter hat einen verschiebbaren Schaltteil (7) sowie wenigstens zwei in einer Ebene zu liegen kommende Strahlungsleiterenden (6), welche derart nah benachbart zueinander angeordnet sind, dass mit dem Schaltteil (7) aus einem Strahlungsleiterende (6) austretende Strahlung (14) auf ihrem optischen Weg zu einem anderen Leiterende (6) abblockbar bzw. in dieses reflektierbar ist.

English

Each radiation guide switch has a displaceable switch element (7) and at least two adjacently arranged radiation guide ends (6) lying on a plane, whereby the radiation (14) which exits from one end of the radiation guide (6) can be blocked off on the optical path thereof to another end of the radiation guide (6) or reflected therein by means of the switch element.

Last Update: 2014-11-28
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