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während des abscheideprozesses hält die vakuumpumpe den unterdruck im vakuumgefäß/-abscheider aufrecht.
dans la mesure où les solvants sont plus lourds que l'air, la plus forte concentration apparaîtra au niveau du sol.
Last Update: 2014-02-06
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verfahren nach anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die relativbewegung zwischen der reaktionszone und dem substrat im verlauf des abscheideprozesses wiederholt wird.
procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que lors du procédé de dépôt la zone de réaction et le substrat peuvent être déplacés plusieurs fois l'un par rapport à l'autre.
Last Update: 2014-12-03
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die vorliegende erfindung bezieht sich auf einen schichtdickensensor zur Überwachung von abscheideprozessen sowie auf ein verfahren zum Überwachen von schichtabscheideprozessen in der mikrosystemtechnik und nanotechnologie.
la présente invention concerne un capteur d'épaisseur de couche servant à contrôler les processus de séparation ainsi qu'un procédé de contrôle de processus de séparation de couche dans les techniques de microsystèmes et la nanotechnologie.
Last Update: 2014-12-03
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