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gases del 2°tfc, a excepción de 2189 diclorosilano, así como del dimetilsilano, el trimetilsilano o de mezclas que contengan los mismos, con el número de identificación 3309;
gases of 2°tfc other than 2189 dichlorosilane, dimethylsilane, trimethylsilane or mixtures thereof, assigned to identification number 3309.
Last Update: 2014-11-21
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los gases de origen más comunes incluyen silano y oxígeno, diclorosilano (sicl2 h2 ) y óxido nitroso (n2o), o tetraetilortosilicato (teos; si (oc2h5)4 ).
common source gases include silane and oxygen, dichlorosilane (sicl2h2) and nitrous oxide (n2o), or tetraethylorthosilicate (teos; si(oc2h5)4).
Last Update: 2016-03-03
Usage Frequency: 1
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