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Usted buscó: strömungssteuereinheit (Alemán - Inglés)

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Befestigungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 27, wobei die Strömungssteuereinheit eine Ventileinheit aufweist, die eine wirksame Fluidverbindung des einen Reservoirs für Haltefluid und des einen Verteilers für Haltefluid herstellt.

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The tooling fixture of claim 27, wherein the flow control unit includes one valve unit operably fluidly connecting the one support fluid reservoir and the one support fluid manifold.

Última actualización: 2014-12-05
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Befestigungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 29, wobei die Strömungssteuereinheit eine Mehrzahl von Ventileinheiten aufweist, die jeweils eine wirksame Fluidverbindung zwischen entsprechenden der Reservoirs für Haltefluid und der Verteiler für Haltefluid herstellen.

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The tooling fixture of claim 29, wherein the flow control unit includes a plurality of valve units each operably fluidly connecting respective ones of the support fluid reservoirs and the support fluid manifolds.

Última actualización: 2014-12-05
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Befestigungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 28, wobei die Strömungssteuereinheit eine Ventileinheit aufweist, welche eine wirksame Fluidverbindung zwischen dem einen Reservoir für Haltefluid und jedem Verteiler für Haltefluid herstellt.

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The tooling fixture of claim 28, wherein the flow control unit includes one valve unit operably fluidly connecting the one support fluid reservoir and each support fluid manifold.

Última actualización: 2014-12-05
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Befestigungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 28, wobei die Strömungssteuereinheit eine Mehrzahl von Ventileinheiten aufweist, die jeweils eine wirksame Fluidverbindung des einen Reservoirs für Haltefluid mit einem entsprechenden der Verteiler für Haltefluid herstellen.

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The tooling fixture of claim 28, wherein the flow control unit includes a plurality of valve units each operably fluidly connecting the one support fluid reservoir to a respective one of the support fluid manifolds.

Última actualización: 2014-12-05
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Befestigungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 22, wobei die Strömungssteuereinheit zumindest eine Ventileinheit aufweist, die zumindest eines des zumindest einen Reservoirs für das Haltefluid und zumindest einen des zumindest einen Verteilers für Haltefluid in wirksamer Fluidverbindung anschließt.

Inglés

The tooling fixture of any of claims 1 to 22, wherein the flow control unit includes at least one valve unit operably fluidly connecting at least one of the at least one support fluid reservoir and at least one of the at least one support fluid manifold.

Última actualización: 2014-12-05
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Befestigungseinrichtung eines Werkzeugs nach Anspruch 41, wobei die Strömungssteuereinheit eine pneumatische Druckquelle aufweist, die in wirksamer Fluidverbindung mit dem zweiten Ventil steht, um dasselbe zu betätigen und dadurch die Stützelemente bzw. Halterungselemente auszufahren.

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The tooling fixture of claim 41, wherein the flow control unit includes a pneumatic pressure source operably fluidly connected to the second valve to actuate the same and thereby extend the supporting elements.

Última actualización: 2014-12-05
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Plasmasystem nach Anspruch 14, welches ferner umfaßt: eine Stromversorgung (40), die während des Betriebs ein Plasma zwischen dem Target (16) und dem Substrat (20) auf der Plattform (18) erzeugt; eine Strömungssteuereinheit (36), die während des Betriebs eine Strömung eines Gases von einer Gasquelle (32) in die Kammer (12) steuert; und eine Vakuumpumpe (30), die mit der Kammer (12) verbunden ist, wobei die Vakuumpumpe (30) die Kammer (12) während des Betriebs auspumpt; wobei die Steuereinheit (44) programmiert ist, um den Betrieb der Stromversorgung (40), der Strömungssteuereinheit (36) und der Vakuumpumpe (30) zu steuern, um die Niederdruck- und Hochdruck-Sputterphasen durchzuführen.

Inglés

The plasma system of claim 14 further comprising: a power supply (40) which during operation produces a plasma between the target (16) and the substrate (20) on the platform (18); a flow controller (36) which during operation controls a flow of gas from a source of gas (32) into the chamber (12); and a vacuum pump (30) connected to the chamber (12), said vacuum pump (30) evacuating the chamber (12) during operation; wherein the control unit (44) is programmed to control operation of the power supply (40), the flow controller (36) and the vacuum pump (30) so as to perform the low pressure and high pressure phases of sputtering.

Última actualización: 2014-12-05
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Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, welche ferner aufweist: eine Strömungssteuereinheit (33) zum Steuern der Strömung des Gases; eine Steuerantriebsvorrichtung zum Steuern der Zuführaufnahmefähigkeit von zumindest einer Kolbenpumpe (45A, 45B) durch Saugen des viskosen Materials; eine Messvorrichtung zum Messen des Drucks des viskosen Materials und der Dichte des viskosen Materials in der Ausströmvorrichtung (15); und eine Gasphasensteuereinheit, welche zur Übertragung von Befehlen zu der Strömungssteuereinheit (833) und der Steuerantriebsvorrichtung derart angepasst ist, dass die Gasphase gesteuert wird, welche als Blasen im Inneren des viskosen Materials verteilt ist, wobei die Befehle auf Ventilen basieren, welche durch die Messvorrichtung gemessen werden.

Inglés

An apparatus as defined in any of claims 1 to 4, further including: a flow control unit (33) for controlling the flow of said gas; a controlling/driving device for controlling the supply capability of said at least one piston pump (45A, 45B) in sucking said viscous material; a measuring device for measuring the pressure undergone by, and the density of, said viscous material in said discharge device (15); and a gas phase control unit adapted to transmit commands to said flow control unit (833) and said controlling/driving device so as to control the gas phase which is distributed as bubbles in the interior of said viscous material, said commands being based on valves measured by said measuring device.

Última actualización: 2014-12-05
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Vorrichtung nach einem der Ansprüche 22 bis 24, weiterhin umfassend: eine Strömungssteuereinheit (33) zum Steuern der Strömung des Gases; eine Steuer/Antriebseinrichtung zum Steuern der Saugleistung der Förderpumpe (42) beim Saugen des viskosen Materials; eine Messeinrichtung zum Messen des von dem viskosen Material in der Auslasseinrichtung (15) erfahrenen Drucks und seiner Dichte; und eine Gasphasensteuereinheit, die ausgebildet ist, um Befehle zu der Strömungssteuereinheit (33) und der Steuer/Antriebseinrichtung zu übertragen, um die Gasphase zu steuern, die als Blasen in dem Inneren des viskosen Materials verteilt ist, wobei die Befehle auf von der Messeinrichtung gemessenen Werten beruhen.

Inglés

Apparatus as defined in any of claims 22 to 24, further including: a flow control unit (33) for controlling the flow of said gas; a controlling/driving device for controlling the suction capacity of said delivery pump (42) in sucking said viscous material; a measuring device for measuring the pressure undergone by, and the density of, said viscous material in said discharge device (15); and a gas phase control unit adapted to transmit commands to said flow control unit (33) and said controlling/driving device so as to control the gas phase which is distributed as bubbles in the interior of said viscous material, said commands being based on values measured by said measuring device.

Última actualización: 2014-12-05
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System nach Anspruch 24, bei dem die elektronische Steuerschaltung (32) der Strömungssteuereinheit (14; 502) mit den Steuermitteln (194) der Duscheinheit (12; 250; 504; 540) zusammenwirkt, um das Strömungssteuerventil (24/28; 26/30) so zu steuern, daß die Strömungsrate dort hindurch verringert wird, wenn der drehbare Duschkopf (94) gedreht wird, um dadurch den von der Wasserleitung (58) auf das bewegliche Dichtglied (104; 260) ausgeübten Wasserdruck zu verringern.

Inglés

The system according to claim 24, wherein said electronic control circuit (32) of said flow control unit (14; 502) cooperates with said control means (194) of said shower unit (12; 250; 504; 540) to control said flow control valve (24/28; 26/30) so that the flow rate therethrough is reduced when said rotatable shower head (94) is to be rotated, thereby to decrease water pressure applied from said water conduit (58) to said movable sealing member (104; 260).

Última actualización: 2014-12-05
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System nach Anspruch 25, bei dem die Strömungssteuereinheit (14; 502) ferner einen von dem Wasserdurchgang abzweigenden Ablaufkanal (18) und ein elektrisch betätigtes zweites Strömungssteuerventil (46/50) zur Steuerung des Wasserflusses durch den Ablaufkanal (18) umfaßt, wobei die elektronische Steuerschaltung (32) der Strömungssteuereinheit (14; 502) arbeitet, um das zweite Strömungssteuerventil (46/50) zu öffnen und den von der Wasserleitung auf das bewegliche Dichtglied (104; 260) ausgeübten Wasserdruck zu verringern.

Inglés

The system according to claim 25, wherein said flow control unit (14; 502) further comprises a drain passage (18) branching from said water passage and an electrically operated second flow control valve (46/50) for controlling flow of water through said drain passage (18), said electronic control circuit (32) of said flow control unit (14; 502) being operative to open said second flow control valve (46/50) to reduce water pressure applied from said water conduit to said movable sealing member (104; 260).

Última actualización: 2014-12-05
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System nach Anspruch 40, bei dem die Strömungssteuereinheit (502) angepaßt ist, um in der einen Betriebsart eine zugemessene Wassermenge an die Duscheinheit (504) zu liefern.

Inglés

The system according to claim 40, wherein said flow control unit (502) is adapted to supply a measured quantity of water to said shower unit (504) in said one mode.

Última actualización: 2014-12-05
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System nach Anspruch 4, bei dem zur Zufuhr von Wasser zu einer Badewanne (510) in einer Betriebssart und zur Bereitstellung einer Dusche in einer anderen Betriebsart das System ferner eine Strömungssteuereinheit (502) umfaßt, die mit einer Quelle von unter Druck stehendem Wasser verbindbar ist, sowie einen flexiblen Schlauch (16), der die Steuereinheit (502) und die Duscheinheit (504) verbindet, und bei dem der drehbare Duschkopf (94) einen ersten Sprühkopf (430) umfaßt, der zur Abgabe eines unbeschränkten Wasserflusses mit einer höheren Strömungsrate in der einen Betriebsart angepaßt ist, sowie einen zweiten Sprühkopf (132), der zum Sprühen von Wasser in der anderen Betriebsart angepaßt ist.

Inglés

The system according to claim 4, wherein, for supplying water to a bath tub (510) in one mode and providing shower in another mode, said system further comprises a flow control unit (502) connectable to a source of water under pressure and a flexible hose (16) connecting said control unit (502) and said shower unit (504), and wherein said rotatable shower head (94) comprises a first spray head (134) adapted to deliver a non-restricted flow of water at a higher flow rate in said one mode and a second spray head (132) adapted to spray water in said another mode.

Última actualización: 2014-12-05
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System nach Anspruch 4, ferner umfassend: eine Strömungssteuereinheit (14; 502) die stromauf der Duscheinheit (12; 250; 504; 540) angeordnet ist und einen sie durchsetzenden Wasserdurchgang aufweist, der mit der Wasserzufuhr verbindbar ist, wobei die Strömungssteuereinheit (14; 502) ferner ein elektrisch betätigtes erstes Strömungssteuerventil (24/28; 26/30) zur Steuerung des Wasserflusses durch den Wasserdurchgang, Mittel (306) zur Lieferung elektrischer Leistung an das Steuerventil (24/28; 26/30) und eine elektronische Steuerschaltung (32) zur Steuerung des Strömungssteuerventils (24/28; 26/30) enthält, und einen flexiblen Schlauch (16), der die Strömungssteuereinheit (14; 502) mit der Duscheinheit (12; 250; 504; 540) verbindet, um unter Druck stehendes Wasser an die Wasserleitung (58) in der Duscheinheit (12; 250; 504; 540) zu liefern, wenn das Strömungssteuerventil (24/28; 26/30) geöffnet ist.

Inglés

The system according to claim 4, further comprising: a flow control unit (14; 502) located upstream of said shower unit (12; 250; 504; 540) and having a water passage therethrough connectable to said water supply, said flow control unit (14; 502) further including an electrically operated first flow control valve (24/28; 26/30) for controlling flow of water through said water passage, means (306) for supplying electric power to said control valve (24/28; 26/30), and an electronic control circuit (32) for controlling said flow control valve (24/28; 26/30); and a flexible hose (16) connected between said flow control unit (14; 502) and said shower unit (12; 250; 504; 540) for supplying water under pressure to said water conduit (58) in said shower unit (12; 250; 504; 540) when said flow control valve (24/28; 26/30) is opened.

Última actualización: 2014-12-05
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System nach Anspruch 29, bei dem die Strömungssteuereinheit (14; 502) ferner einen dem Innendurchgang zugeordneten Strömungsmesser (38) umfaßt, um die Strömungsrate des hindurchströmenden Wassers zu erfassen und ein die erfaßte Strömungsrate anzeigendes Signal abzugeben, wobei der eine Mikrocomputer (300; 302) auf das Signal von dem Strömungsmesser (38) anspricht, um den gespeicherten Wert für den Strömungskoeffizienten Cv in einer solchen Weise zu erneuern, daß die gemessene Strömungsrate gleich der durch den Strömungsmesser (38) erfaßten Strömungsrate wird.

Inglés

The system according to claim 29, wherein said flow control unit (14; 502) further comprises a flowmeter (38) associated with said inner passage to detect the flow rate of water flowing therethrough to deliver a signal indicative of the detected flow rate, said one microcomputer (300; 302) being responsive to said signal from said flowmeter (38) to renew the memorized value for said flow coefficient Cv in such a manner that said measured flow rate becomes equal to said flow rate detected by said flowmeter (38).

Última actualización: 2014-12-05
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System nach Anspruch 24, bei dem die Steuermittel (194) der Duscheinheit und die elektronische Steuerschaltung (32) der Strömungssteuereinheit (14; 502) einen ersten bzw. einen zweiten digitalen Mikrocomputer (300; 302) umfassen, wobei die Mikrocomputer verbunden sind, um elektronisch miteinander über ein Datenkommunikationsmedium (212) zu kommunizieren, das sich längs des flexiblen Schlauchs (16) erstreckt.

Inglés

The system according to claim 24, wherein said control means (194) of said shower unit and said electronic control circuit (32) of said flow control unit (14; 502) comprise, respectively, a first and a second digital microcomputer (300; 302), said microcomputers being connected to electronically communicate with each other via a data communication medium (212) extending along said flexible hose (16).

Última actualización: 2014-12-05
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System nach Anspruch 5, wobei die programmierbare Steuervorrichtung (130) ein Steuerprogramm aufweist zum ständigen bzw. kontinuierlichen Korrelieren des von dem Drucksensor (132) abgefühlten Drucks in der Kammer mit einer instantanen maximal zulässigen Strömungsrate, wobei die programmierbare Steuervorrichtung ein Signal ausgibt zum Einstellen der Strömungssteuereinheit zum Erreichen einer Strömungsrate bei oder unterhalb der maximal zulässigen Strömungsrate.

Inglés

The system of claim 5 wherein the programmable controller (130) includes a control program to continuously correlate the pressure sensed by the pressure sensor (132) in the chamber with an instantaneous maximum allowable flow rate, wherein the programmable controller outputs a signal to adjust the flow control unit to achieve a flow rate at or below the maximum allowable flow rate.

Última actualización: 2014-12-05
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System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Strömungssteuervorrichtung folgendes aufweist: a) eine programmierbare Steuervorrichtung (130), die Speichermittel aufweist zum Speichern einer Anzeige von erlaubten Strömungsraten auf der Grundlage des abgefühlten Drucks in der Kammer; und b) eine Strömungssteuereinheit (110, 112) in jedem der ersten und zweiten Strömungssteuerdurchlaßwege (116, 120) gekoppelt an die programmierbare Steuervorrichtung zum Aufrechterhalten der Strömungsraten bei oder unterhalb der erlaubten Strömungsraten.

Inglés

The system of any one of the preceding claims wherein the flow controller includes: a) a programmable controller (130) having a storage means for storing an indication of permissible flow rates based on the sensed pressure in the chamber; and b) a flow control unit (110,112) in each of the first and second flow control passageways (116,120) coupled to the programmable controller to maintain flow rates at or below the permissible flow rates.

Última actualización: 2014-12-05
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Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Strömungssteuereinheit (18) eine weitere variable Strömungssteuereinrichtung (26; 30) aufweist und das Verfahren das Vermindern der Konduktanz der weiteren variablen Strömungssteuereinrichtung umfaßt, um den Betriebsbereich zu vergrößern, über welchen die Steuerung der variablen Strömungssteuereinrichtung Druckänderungen in einer solchen Prozesskammer bewirkt.

Inglés

A method as claimed in any one of the preceding claims, wherein the flow control unit (18) comprises a further variable flow control device (26; 30), and the method comprises decreasing the conductance of the further variable flow control device to increase the operative range over which control of the variable flow control device effects changes in the pressure in such a process chamber.

Última actualización: 2014-12-05
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Gerät zur Steuerung des Drucks in einer Prozesskammer (10), wobei das Gerät eine erste Pumpeneinheit (14) mit einem Einlaß zur Strömungsverbindung mit einem Auslaß der Prozesskammer, eine zweite Pumpeneinheit (16) mit einem Einlaß zur Strömungsverbindung mit einem Auslaß der ersten Pumpeneinheit über eine Strömungssteuereinheit (18), die eine variable Strömungssteuereinrichtung (20; 28) mit variabler Konduktanz zur Steuerung des Strömungsmitteldrucks am Auslaß der ersten Pumpeneinheit umfaßt, und Mittel zur Steuerung der Drehzahl der ersten Pumpeneinheit aufweist, um den Bereich von Kammerdrücken zu vergrößern, über welchen die Steuerung der variablen Strömungssteuereinrichtung Änderungen des Kammerdrucks erzeugt, ohne die thermische Grenze und/oder die Motorabwürggrenze der ersten Pumpeneinheit zu überschreiten.

Inglés

Apparatus for controlling the pressure in a process chamber (10), the apparatus comprising a first pump unit (14) having an inlet for fluid connection with an outlet of a process chamber, a second pump unit (16) having an inlet for fluid connection with an outlet of the first pump unit via a flow control unit (18), the flow control unit comprising a variable flow control device (20; 28), the variable flow control device having variable conductance for controlling fluid pressure at the outlet of the first pump unit, and means for controlling speed of the first pump unit to increase the range of chamber pressures over which control of the variable flow control device produces changes in said chamber pressure without exceeding the thermal limit and/or motor stall limit of the first pump unit.

Última actualización: 2014-12-05
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