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il est à noter que ces données sont corrigées, donc exemptes des erreurs dues à la non planéité de la plaque 40.
note that the data is corrected, and therefore free of errors due to the non-plane shape of the plate 40.
la structure obtenue augmente l'uniformité et la non planéité de la surface supérieure de ladite structure de grille métallique.
the resulting structure increases the uniformity and non-planarity of the top surface of the metal gate structure.
les matériaux fins peuvent présenter une largeur d'environ 1 à 10 fois la non-planéité surfacique du matériau sur lequel ils sont formés
the thin materials may each have a thickness of approximately 1 -10 times the surface non-planarity of the material on which they are formed
la structure obtenue augmente l'uniformité et la non planéité de la surface supérieure de ladite structure de grille métallique (10)
the resulting structure increases the uniformity and non-planarity of the top surface of the metal gate structure (10)
un procédé et un système comprenant un mandrin à tiges de compliance active sur lequel repose un substrat, lequel mandrin comprend une première et une seconde surface opposées et sert à compenser la non planéité de l'une des surfaces du substrat
the present method and system features an active compliant pin chuck to hold a substrate, having opposed first and second surfaces, and compensates for non-planarity in one of the surfaces of the substrate
en outre, de par la non-planéité de sa surface supérieure, il ne saurait en aucun cas inciter l'utilisateur à l'utiliser comme écritoire ou analogue.
in addition, because its top surface is not plane, it can under no circumstances encourage the user to use it as a writing-desk or the like.
la présente invention concerne un procédé et un système comprenant un mandrin à tiges de compliance active sur lequel repose un substrat, lequel mandrin comprend une première et une seconde surface opposées et sert à compenser la non planéité de l'une des surfaces du substrat.
the present method and system features an active compliant pin chuck to hold a substrate, having opposed first and second surfaces, and compensates for non-planarity in one of the surfaces of the substrate.
en effet, comme il a été indiqué dans le préambule de la présente description, le procédé de l'invention est parfaitement compatible avec des parois planes, étant entendu que la non-planéité aggrave les problèmes rencontrés.
as indicated in the preamble to the present description, the method of the invention is totally compatible with plane walls, it being understood that non-plane walls accentuate the problems encountered.
procédé selon l'une ou plusieurs des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que la forme de non-planéité est décrite en altemative comme suite de points (x, y).
method according to one or more of claims 1 to 7, characterised in that the non-planarity shape is alternatively described as a point sequence (x, y).