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De: Traduction automatique
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die prozesskammer besteht aus einem mehrschichtigen keramischen isolierungsaufbau. durch das in der kammer integrierte lüftungskonzept, ist eine regelung jeder einzelnen zone gewährleistet.
the process chamber consists of a multilayer ceramic insulation structure. each zone can be controlled separately thanks to the ventilation concept integrated into the chamber.
Dernière mise à jour : 2018-02-13
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