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extraktionsverfahren von defektdichte- und grÖssenverteilungen
procede d'extraction de distributions de densite et de taille de defaut

selbstinterstitiell dominiertes silizium mit niedriger defektdichte
silicium a auto-interstices predominants, presentant un taux de defauts faible

verfahren zur herstellung von floatglas mit reduzierter defektdichte
procede de fabrication de verre flottant a densite de defaut reduite

verfahren zur verringerung der defektdichte in ultradünnen schichten.
procédé pour réduire les défauts des couches ultra-minces.

epitaktische heteroschichten mit niedriger defektdichte und willkürlicher gitterkonstante.
hétéro-couches épitaxiques à faible densité de défauts et à constante de réseau arbitraire.

verfahren zur herstellung von halbleiterscheiben aus silicium mit geringer defektdichte
procédé de fabrication d'une plaquette de silicium ayant une faible densité de défauts

verfahren zur herstellung von silicium mit niedriger defektdichte mit hoher wachstumrate
procede de preparation de silicium a faible densite de defauts faisant appel a des taux de croissance eleves

verfahren zur herstellung eines stickstoff- dotierten siliciumeinkristalles mit geringer defektdichte
procédé pour la production d'un monocristal de silicium dopé par l'azote et présentant une faible densité de défauts

silizium mit niedriger defektdichte und mit leerstellendominiertem kern, das im wesentlichen frei von oxidationsinduzierten stapelfehlern ist
silicium a faible densite de defauts dont la partie centrale dominee par des lacunes est pratiquement exempte de defauts d'empilement induits par l'oxydation

verfahren nach anspruch 1 oder 2, bei dem der implantierungsschritt das implantieren mit einem implantat umfaßt, daß eine defektdichte von mehr als 1 x 10²² kev pro cm³ überall im polykristallinen silizium hat.
procédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel l'étape d'implantation consiste à implanter avec un implant ayant une densité de défaut supérieure à 1 x 10²² kev par cm³ dans tout le silicium polycristallin.

al 2 o 3 -sintermaterial, gekennzeichnet durch einen gehalt von 95 bis 100 vol-% al 2 o 3 , eine vickers-kleinlast-härte ≥ 1750 bei einer prüflast von 10 n bis 100 n (hv1 bis hv10) und eine biegebruchfestigkeit ≥ 800 mpa, wobei das sintermaterial eine relative sinterdichte von ρ ≥ 98,5 %, ein gefüge mit einer mittleren korngröße von ≤ 2 µm und eine dimensionslose defektdichte von 10 µm und/oder mehr als 10 µm große agglomerate einzelner körner mit einem die fünffache mittlere korngröße übersteigendem durchmesser.
matériau fritté d'al 2 o 3 , caractérisé en ce qu'il contient de 95 à 100 % en volume d'al 2 o 3 , qu'il a une dureté vickers sous faible charge ≥ 1750 pour une charge d'essai de 10 n à 100 n (hv1 à hv10), avec une résistance à la rupture par flexion ≥ 800 mpa, où le matériau fritté a une densité relative du fritté ρ ≥ 98,5 %, une texture ayant une granulométrie moyenne ≤ 2 µm, et une densité de défauts sans dimension 10 µm et/ou des agglomérats de plus de 10 µm de grains individuels, dont le diamètre est supérieur à 5 fois la granulométrie moyenne.