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système de traitement de plasma selon la revendication 1, dans lequel ledit signal de valeur de consigne de commande de phase est un signal prédéfini.
the plasma processing system of claim 1 wherein said phase control set point signal is a predefined signal.
a des valeurs de consigne de gain faibles, des marges de phase convenables peuvent être maintenues, ce qui permet d'obtenir un meilleur comportement de stabilisation
at low gain settings decent phase margins can be maintained, allowing better settling behaviour
les générateurs de forme d'onde 21 reçoivent des consignes de phase du circuit de contrôle de la phase de pointage 24.
the waveform generators 21 receive phase setpoints from the pointing phase control circuit 24 .