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on peut se reporter à cet égard à l'article "analyse par diffraction des rayons x, de l'évolution des contraintes résiduelles associée à la gravure de lignes dans un dépôt mince de tungstène cvd sur substrat de si" de l. maniguet, m. ignat, m. dupeux, j.j. bacmann et p. normandon, paru dans la revue de métallurgie-cit/science et génie des matériaux, septembre 1993, page 1109.
for more information on this subject, see "analyse par diffraction des rayons x, de l'evolution des contraintes residuelles associees a la gravure de lignes dans un depot mince de tungstene cvd sur substrat de si" (analysis using x-ray diffraction of the development of residual stresses associated with lines engraved in a thin deposit of cvd tungsten on an si substrate) by l. maniguet, m. ignat, m. dupeux, j.j. bacmann and p. normandon in "revue de metallurgie-cit/science et genie des materiaux", september 1993, page 1109.