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ceramique dense a azoture de silicium auto-renforcee preparee par frittage sans pression ou au gaz a basse pression
durch druckloses oder niedrigdruckgassintern hergestellte dichte, selbstarmierte siliciumnitridkeramik
matériau de réserve développé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la réserve comprend une résine soluble alcaline et un sensibilisateur à azoture.
entwickeltes resistmaterial gemäß anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der resist ein alkalilösliches harz und ein azid-sensibilisierungsmittel umfasst.
système de câblage d'interconnexion selon la revendication 1 ou 2, dans lequel ladite électrode supérieure a une surface inférieure en azoture de titane.
zwischenverbindungs-verdrahtungssystem nach den ansprüchen 1 oder 2, wobei die obere elektrode eine unterseite aus titannitrid aufweist.