検索ワード: waferüberführungsrobot (ドイツ語 - フランス語)

elektrochemisches abscheidesystem (200) a) mit einem hauptrahmen (214), der einen hauptrahmen-waferüberführungsrobot (242) hat, b) mit einer ladestation (210), die in verbindung mit dem hauptrahmen (214) angeordnet ist, c) mit einem oder mehreren elektrischen behandlungszellen (218, 240), die in dem hauptrahmen (214) angeordnet sind, d) mit einer elektrolytzufuhr (220), die mit der einen oder den mehreren elektrischen behandlungszellen (218, 240) in fluidverbindung steht, dadurch gekennzeichnet, dass das abscheidesystem (200) weiterhin e) eine dreh-spül-trocknungs (srd)-kammer (212), die zwischen der ladestation (210) und dem hautprahmen (214) angeordnet ist, und f) eine wärmbehandlungskammer (211) aufweist, die angrenzend an die ladestation (210) angeordnet ist.
système de dépôt électrochimique (200), comprenant : a) un cadre principal (214) ayant un robot de transfert (242) de tranche de cadre principal ; b) une station de chargement (210) placée en connexion avec le cadre principal (214) ; c) une ou plusieurs cellules de traitement électrique (218, 240) placées à l'intérieur du cadre principal (214) ; d) une alimentation d'électrolyte (220) connectée de manière fluide à la une ou plusieurs cellules de traitement électriques (218, 240) ; caractérisé en ce que ledit système de dépôt (200) comprend également e) une chambre rinceuse essoreuse centrifuge (212) placée entre la station de chargement (210) et le cadre principal (214) ; et f) une chambre d'étuvage thermique (211) placée à côté de la station de chargement (210).