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two axes laser interferometers are well known for determining the xy position of a stage, for instance for photolithography equipment.
les interféromètres à laser à deux axes sont bien connus pour la détermination de la position xy d'une platine, par exemple dans un matériel de photolithographie.
information relating to an xy-position and a z-position is obtained together with information regarding the exit velocity a droplet of viscous medium has when it exits the nozzle.
on obtient des informations associées aux positions xy et z conjointement avec des informations relatives à la vitesse de sortie d'une gouttelette de milieu visqueux sortant de la buse.
according to the xy position of the table (wtb), the z heads to be used are switched from zsr and zsl to zsr' and zsl (or zsr and zsl')
en fonction de la position xy de la table (wtb), les têtes z devant être utilisées sont commutées de zsr et zsl à zsr' et zsl (ou zsr et zsl')
accordingly, although the z head to be used is sequentially switched according the xy position of the wafer table, measurement results of the height and the tilt of the wafer table are stored before and after the switching, and it becomes possible to drive the wafer table with high precision.
en conséquence, bien que la tête z devant être utilisée soit commutée séquentiellement en fonction de la position xy de la table porte-plaquette, les résultats de mesure de la hauteur et de l'inclinaison de la table porte-plaquette sont mémorisés avant et après la commutation et il devient possible d'entraîner la table porte-plaquette avec une haute précision.