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=== hidrogénio ===o processo de deposição ocorre a temperaturas entre 300 e 800 °c e resulta na formação de vapores de ácido hidrofluórico::wf6 + 3 h2 → w + 6 hfa estrutura cristalina das camadas de tungsténio produzidas pode ser controlada alterando a razão wf6/h2 e a temperatura do substrato: razões e temperaturas baixas resultam na formação de cristalitos com orientação (100) enquanto valores mais altos favorecem a orientação (111).
=== hydrogen ===the deposition process occurs at temperatures between 300 and 800 °c and results in formation of hydrofluoric acid vapors::wf6 + 3 h2 → w + 6 hfthe crystallinity of the produced tungsten layers can be controlled by altering the wf6/h2 ratio and the substrate temperature: low ratios and temperatures result in (100) oriented tungsten crystallites whereas higher values favor the (111) orientation.