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Ätzmaske
etching mask

harte Ätzmaske
hard etch mask

Ätzmaske von hoher auflösung.
high resolution etching mask.

abgleichkontrolle einer Ätzmaske fÜr ein transistorgate
control trimming of hard mask for transistor gate

anschließend wird die Ätzmaske wieder entfernt.
then, the etching mask is removed again.

leitfÄhige Ätzmaske zum Ätzen einer opferschicht
conductive etch stop for etching a sacrificial layer

verfahren zur herstellung einer nickel-Ätzmaske
method of fabricating a nickel etching mask

siliziumhaltige filmbildende zusammensetzung, als Ätzmaske dienender siliziumhaltiger film, substratverarbeitungszwischenprodukt und substratverarbeitungsverfahren
silicon-containing film forming composition, silicon-containing film serving as etching mask, substrate processing intermediate, and substrate processing method

halbleiteranordnung und verfahren zur Ätzung einer schicht der halbleiteranordnung mittels einer siliziumhaltigen Ätzmaske
semiconductor arrangement and method for etching a layer of said semiconductor arrangement using an etching mask containing silicon

verfahren zur herstellung von galvano- und Ätzmasken.
process for production of plating and etching resists.