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abscheidung von siliziumoxinitrid-polymerschichten
a method of depositing silicon oxynitride polimer layers

anpassung des stickstoffprofils in siliziumoxinitrid mittels kurzeittemperns mit ammoniak unter hochvakuum
tailoring nitrogen profile in silicon oxynitride using rapid thermal annealing with ammonia under ultra-low pressure

plasmaangeregtes chemisches gasphasenabscheide-verfahren zum abscheiden von siliziumnitrid oder siliziumoxinitrid, verfahren zum herstellen einer schicht-anordnung und schicht-anordnung
plasma-enhanced chemical vapour deposition method for depositing silicon nitride or silicon oxynitride, method for producing one such layer arrangement, and layer arrangement