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teilchenstrahlgerät
particle beam apparatus

teilchenstrahlgerät mit energiefilter
particle beam apparatus with energy filter

ablenksystem fÜr ein teilchenstrahlgerÄt
deflection system for a particle beam device

teilchenstrahlgerät mit ozon-quelle
charged particle beam device with ozone supply

teilchenstrahlgerät mit vrobestimmtem arbeitsdruck
particle-optical apparatus with a predetermined final vacuum pressure

teilchenstrahlgerät mit sekundärelektronen-detektor
particle beam apparatus with secondary electron detector

teilchenstrahlgerät zur geneigten beobachtung einer probe
particle beam apparatus for tilted observation of a specimen

teilchenstrahlgerät mit gekühltem antikontaminator und/oder probenhalter
particle beam apparatus with cooled anti-contamination shield and/or sample holder

teilchenstrahlgerät für hohe räumliche auflösung und verschiedene für perspektivische abbildungsmethoden
charged particle beam device for high spatial resolution and multiple perspective imaging

vorrichtung zur reduzierung der energieverteilung eines teilchenstrahls und teilchenstrahlgerät mit einer solchen anordnung
device for reducing the energy width of a particle beam and a particle beam apparatus with such a device

teilchenstrahlgerÄt mit einer im ultrahochvakuum zu betreibenden teilchenquelle und kaskadenfÖrmige pumpanordnung fÜr ein solches teilchenstrahlgerÄt
particle radiation device comprising a particle source that is operated in an ultrahigh vacuum and a cascade pump assembly for a particle radiation device of this type

konische prallflache zur reduzierung des aufladungsdrifts in einem teilchenstrahlgerat
conical baffle for reducing charging drift in a particle beam system