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verfahren zur steuerung eines verdampfungsprozesses.
controlling procedure of an evaporation process.

apparat und verfahren zur verbesserung des wirkungsgrades eines verdampfungsprozesses
process and apparatus for improving the efficiency of an evaporation process

beispiel 3 entsprechend beispiel 1 werden leuchtdioden hergestellt, wobei die pt-injektionsschicht - anstatt elektronenstrahlverdampfens - mittels eines thermischen verdampfungsprozesses aufgebracht wird.
example 3 light emitting diodes are fabricated in accordance with example 1, the pt injection layer being applied through the use of a thermal evaporation process instead of by electron beam evaporation.