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verfahren nach anspruch 5, wobei das kohlenstoffreiche plasma zum substrat und an einem anodensystem vorbei, das an beide pulsierenden gleichspannungsversorgungen angeschlossen ist, beschleunigt wird.
le processus selon la revendication 5, dans lequel le plasma riche en carbone est accéléré vers le substrat au-delà d'un système d'anode qui est connecté aux deux alimentations en énergie en courant continu à impulsions.
Laatste Update: 2014-12-03
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antriebsvorrichtung nach anspruch 1, bei welcher die spannungsversorgung (40) der bremswicklung (16a) als gleichspannungsversorgung mit geringer restwelligkeit ausgebildet ist.
dispositif d'entraínement selon la revendication 1, dans lequel la source de tension (40) de l'enroulement de freinage (16a) est sous forme d'une source de tension continue à faible ondulation résiduelle.
Laatste Update: 2014-12-03
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