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kombinierte hellfeld-dunkelfeld-auflichtbeleuchtungseinrichtung
dispostif à éclairage incident pour éclairage fond clair et fond noir combiné

hellfeld-durchlicht-beleuchtungseinrichtung fÜr mikroskope
dispositif d'eclairage a fond clair et par transmission pour microscopes

hellfeld-bildumkehrung zur erzeugung eines kontaktloches
inversion d'image en champ clair pour une configuration de trous de contact

automatisches inspektionssystem mit hellfeld- und dunkelfeld-beleuchtung
systeme de controle automatise par eclairage sur fond clair ou sur fond noir

verfahren nach anspruch 1, wobei der nachweisschritt durch hellfeld-, phasenkontrast- oder fluoreszenzmikroskopie ausgeführt wird.
procédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape de détection est réalisée par microscopie sur fond clair, microscopie en contraste de phase ou microscopie par fluorescence.

die hellfeld- und dunkelfeld-messeinrichtungen können mit jeweils einem led-array und einem detektor-array getrennt ausgebildet sein.
les dispositifs de mesure sur fond noir et sur fond clair peuvent se présenter sous la forme de dispositifs séparés présentant respectivement un groupe de diodes électroluminescentes (del) et un groupe de détecteurs.

verfahren nach einem der vorhergehenden ansprüche, bei dem die hellfeld- und dunkelfeldlichtstrahlen entsprechende erste und zweite lichtempfindliche sensoren treffen, um das vorhandensein von großen merkmalen oder anomalien zu erfassen.
procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes dans lequel les rayons d'éclairage à fond clair et à fond noir frappent respectivement des premier et second capteurs de lumière pour détecter la présence de caractéristiques ou d'anomalies à grande échelle.

hellfeld-durchlichtbeleuchtungseinrichtung nach anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß das raster (8) nebeneinander angeordnete einzelprismen (10) aufweist.
dispositif d'éclairage à fond clair et par transmission selon la revendication 1 caractérisé en ce que la grille (8) présente des prismes individuels (10) agencés côte à côte.

automatisches verfahren zur inspektion einer oberfläche eines probenstückes mit einer länge, einer oberflächenausdehnung und unterscheidungsmerkmalen oder anomalien, die entweder unter hellfeldbeleuchtung oder dunkelfeldbeleuchtung erfassbar sind, umfassend: festhalten des probenstückes auf einem trägerelement; richten von lichtstrahlen aus mindestens zwei lichtquellen mit zeilenbeleuchtung, deren jede in optischer zuordnung zu einer entsprechenden zeilenapertur ist, um die oberfläche des probenstückes in einfallswinkeln zu treffen, die gleichzeitige hellfeld- und dunkelfeldbeleuchtung des probenstückes vorsehen, wobei die lichtquellen so positioniert sind, dass sie mindestens zwei beabstandete langgestreckte abtastbereiche beleuchten; aufbringen einer relativbewegung auf das trägerelement, auf dem das probenstück festgehalten ist, und die lichtstrahlen, wobei die relativbewegung bewirkt, dass die lichtstrahlen die oberfläche des probenstückes überqueren und die einfallswinkel im wesentlichen unverändert lassen, mit denen die lichtstrahlen die oberfläche treffen, die länge des probenstückes in einer querrichtung zur relativbewegung des probenstückes und der lichtstrahlen definiert ist, und jeder der abtastbereiche sich entlang der länge erstreckt und im wesentlichen kleiner ist als die oberflächenausdehnung des probenstückes; auffangen mindestens einiger der lichtstrahlen, nachdem sie die oberfläche des probenstückes getroffen haben, wobei die aufgefangenen lichtstahlen hellfeldlichtstrahlen enthalten, die sich entlang eines hellfeldweges ausbreiten und dunkelfeldlichtstrahlen, die sich entlang eines dunkelfeldweges ausbreiten; und verarbeiten der hellfeldlichtstrahlen, um merkmale oder anomalien zu erfassen, die unter hellfeldbeleuchtung charakteristische spuren aufweisen und verarbeiten der dunkelfeldlichtstrahlen, um dunkelfeldmerkmale oder -anomalien zu erfassen, die unter dunkelfeldbeleuchtung charakteristische spuren aufweisen, um dadurch informationen zu merkmalen oder anomalien des probenstückes im hellfeld und dunkelfeld zu vereinen.
procédé automatisé d'examen d'une surface d'un échantillon ayant une longueur, une aire de surface et repérant des caractéristiques ou des anomalies qui sont détectables, soit sous un éclairage à fond clair, soit sous éclairage à fond noir, consistant à : maintenir l'échantillon en place sur un élément de support ; diriger les rayons lumineux provenant d'au moins deux sources lumineuses d'éclairage en forme de raie, chacune étant en association optique avec une ouverture en forme de raie correspondante, afin de tomber sur la surface de l'échantillon suivant des angles d'incidence qui fournissent simultanément un éclairage à fond clair et un éclairage à fond noir de l'échantillon, les sources lumineuses étant positionnées pour éclairer au moins deux zones de balayage séparées l'une de l'autre et de forme allongée ; communiquer un mouvement relatif à l'élément de support sur lequel l'échantillon est maintenu en place et aux rayons lumineux, le déplacement relatif entraínant les rayons lumineux à parcourir la surface de l'échantillon et laissant les angles d'incidence essentiellement inchangés au niveau desquels les rayons lumineux tombent sur la surface, la longueur de l'échantillon étant définie suivant une direction transverse au déplacement relatif de l'échantillon et des rayons lumineux, et chacune des aires de balayage s'étendant dans le sens de la longueur et étant essentiellement inférieure à l'aire de surface de l'échantillon ; collecter au moins une partie des rayons lumineux après qu'ils ont heurté la surface de l'échantillon, les rayons lumineux collectés incluant les rayons d'éclairage à fond clair se propageant le long d'une trajectoire de fond clair et les rayons d'éclairage à fond noir se propageant le long d'une trajectoire d'éclairage à fond noir ; et traiter les rayons d'éclairage à fond clair pour détecter les caractéristiques ou les anomalies comportant des signatures caractéristiques sous éclairage à fond clair et traiter les rayons d'éclairage à fond noir pour détecter les caractéristiques ou les anomalies en fond noir présentant des signatures caractéristiques sous éclairage à fond noir en vue de fusionner ainsi une information d'anomalie ou de caractéristique d'échantillon en fond clair et en fond noir.