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wo ai ni
où ai ni

sputtertarget aus einer ai-ni-la-legierung und verfahren zu dessen herstellung
cible de pulvérisation cathodique en alliage d'aluminium du système ai-ni-la et procédé de fabrication correspondant

verfahren nach anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die formgedächtnislegierung gewählt wird aus: - auf ni-basierenden legierungen, z.b.: ni-ti, ni-ti-cu, ni-ti-fe, ni-ti-cr, ni-al; - auf cu-basierende legierungen, z.b.: cu-ai-ni, cu-zn-x (x = si, sn, al), cu-zn, cu-sn; - magnetischen legierungen, z.b.: ni-mn-ga; - hochtemperaturlegierungen, z.b.: ni-ti-hf; - anderen legierungen, z.b.: fe-pt, fe-mn-si, mn-cu, in-ti, ag-cd, au-cd.
procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que ledit alliage à mémoire de forme est choisi parmi : - les alliages à base de ni, par exemple : le ni-ti, le ni-ti-cu, le ni-ti-fe, le ni-ti-cr, le ni-al ; - les alliages à base de cu, par exemple : le cu-al-ni, le cu-zn-x (x = si, sn, al), le cu-zn, le cu-sn ; - les alliages magnétiques, par exemple : le ni-mn-ga ; - les alliages à température élevée, par exemple : le ni-ti-hf ; - d'autres alliages, par exemple : le fe-pt, le fe-mn-si, le mn-cu, l'in-ti, l'ag-cd, l'au-cd.