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microdevice
mikrovorrichtung

particle packing of microdevice
bepacken einer mikrovorrichtung mit teilchen

microdevice and its production method
mikrobauelement und dessen herstellungsverfahren

microdevice and structural components of the same
mikrovorrichtung und strukturelle komponenten derselben

microdevice valve structures for fluid control
ventilstrukturen einer mikrovorrichtung zur druckmittelsteuerung

medicament microdevice delivery system with a cartridge
mikrovorrichtung fÜr ein medikamentenabgabesystem mit einer kartusche

process for producing an actuator element and microdevice
verfahren zur herstellung von aktuatorelementen und mikrovorrichtungen

projection exposure apparatus and microdevice manufacturing method.
projektionsbelichtungsgerät und herstellungsverfahren für eine mikrovorrichtung.

micro ion pump for a low-pressure microdevice microenclosure
mikroionenpumpe für die niederdruckmikroummantelung einer mikrovorrichtung

fluid controlling microdevice and method of manufacturing the same.
mikrosteuervorrichtung fuer fluidum und verfahren zu deren herstellung.

exposure apparatus and microdevice manufacturing method using the same.
belichtungsapparat und verfahren zur herstellung einer mikrovorrichtung unter verwendung desselben.

microdevice having multilayer structure and method for fabricating the same
mikrobauteil mit einer vielschichtigen struktur und verfahren zur dessen herstellung

projection exposure apparatus and microdevice manufacturing method using the same
apparat zur projektionsbelichtung und verfahren zur herstellung einer mikrovorrichtung unter verwendung desselben

microdevice assembly having a fine grain getter layer for maintaining vacuum
mikrovorrichtungsanordnung, die eine feinkorn-getterschicht zur erhaltung eines vakuums aufweist

microdevice for sensing or applying a force and method of making the same.
mikrovorrichtung zum fÜhlen oder zum geben einer kraft und verfahren zur herstellung derselben.

photomask, aberration correcting plate, exposure device and method of producing microdevice
photomaske, aberrationskorrekturplatte, sowie belichtungsgerÄt und verfahren zur herstellung einer mikrostruktur

microdevice for measuring the electromagnetic characteristics of a medium, and utilisation of that microdevice.
mikroeinrichtung zur messung der elektromagnetischen charakteristiken eines mediums, sowie anwendung dieser mikroeinrichtung.

projection optical system and production method therefor, exposure system and production method therefor, and production method for microdevice
"optisches projektionssystem und herstellungsverfahren dafÜr, belichtungssystem und herstellungsverfahren dafÜr und herstellungsverfahren fÜr ein mikrobauelement"

imaging method for manufacture of microdevices
abbildungsverfahren zur herstellung von mikrovorrichtungen