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napagisip isip
napagisip isip

mag isip muna ako
mag isip muna ako

alternative isip configurations are discussed in some detail
cette invention concerne également des configurations d'isip alternatives

alternative isip configurations are discussed in some detail.
cette invention concerne également des configurations d'isip alternatives.

the isip is loaded into a photolithographic exposure tool, aligned, and then exposed onto a suitable recording media or recording sensor
l'isip est chargé dans un outil d'exposition lithographique, aligné, puis exposé sur un support d'enregistrement adapté ou un capteur d'enregistrement

the results indicate that the generated strategies obtained though isip would not increase the complexity in decision-making processes.
les résultats indiquent que les stratégies générées obtenues par l’isip n’augmenteraient pas la complexité des processus décisionnels.

although only a hypothetical but representative system is applied in this study, the proposed isip method may be applicable to many other systems where the complex uncertainties in parameters should be taken into account.
landfill space consumption dynamics in the lower rio grande valley by grey integer programming-based games. journal of environmental management, 75: 353–365. lin, y.p., huang, g.h., lu, h.w., and he, l. 2008.

main aspects of industrial property document code isip/96/2 meeting code isip/96 publication date dec 8, 1997
main aspects of industrial property code du document isip/96/2 code de la réunion isip/96 date de publication 8 déc.

a method and apparatus for resolving both the angular (nx,ny) and spatial -(x,y) dependence of the effective source coherence matrix for lithographic steppers and scanners is described. first an in-situ source metrology instrument is combined with in- situ polarization elements to create an in-situ source imaging polarizer or isip. the isip is loaded into a photolithographic exposure tool, aligned, and then exposed onto a suitable recording media or recording sensor. the recording sensor comprising either resist coated wafers or electronic sensors capture the image intensity at a multiplicity of different field points. the resulting measurements are entered into a computer program that reconstructs the source coherence matrix as a function of direction cosine at multiple field points. alternative isip configurations are discussed in some detail. applications of the isip include polarization source mapping for deep-uv and euv lithography, process optimization, process monitoring, and chip manufacturing.
la présente invention concerne un procédé et un appareil pour résoudre à la fois la dépendance angulaire (nx, ny) et la dépendance spatiale -(x,y) de la matrice de cohérence de source effective pour des steppers (dispositifs pas à pas de gravure) et des scanneurs lithographiques. un premier instrument de métrologie de source in situ est combiné à des éléments de polarisation in situ afin de créer un polariseur d'imagerie de source in situ ou isip. l'isip est chargé dans un outil d'exposition lithographique, aligné, puis exposé sur un support d'enregistrement adapté ou un capteur d'enregistrement. le capteur d'enregistrement comprenant des plaquettes revêtues de résine ou des capteurs électroniques capture l'intensité d'image en une multitude de points de champ différents. les mesures résultant sont entrées dans un programme informatique qui reconstruit la matrice de cohérence de source sous forme de fonction du cosinus de direction aux multiples points de champ. cette invention concerne également des configurations d'isip alternatives. les applications de l'isip incluent un mappage de source de polarisation pour lithographie par uv lointain et par uv extrême, une optimisation de processus, un contrôle de processus et la fabrication de puces.