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load lock
sas de chargement

load lock control
commande de sas de chargement

load-lock equipment
équipement à sas

load arm for load lock
bras de chargement pour verrouillage de chargement

triple chamber load lock
sac de chargement a triple chambre

load lock system for foups
systeme de chargement pour boitiers unifies a ouverture frontale

are set as load lock chambers.
sont conçues pour servir de sas de charge.

tube diffuser for load lock chamber
diffuseur en forme de tube pour chambre de chargement-dÉchargement

multi-position load lock chamber
chambre de chargement/verrouillage a plusieurs positions

load lock with vertically movable support
sas de chargement a support verticalement mobile

through a second load-lock chamber
par l'intermédiaire d'une seconde chambre de blocage de charge

load lock vacuum conductance limiting aperture
ouverture limitant la conductance sous vide d'une enceinte contenant une charge

load-lock unit and wafer transfer system
unité de sas et système de transfert de galette semi-conductrice

automated single slice cassette load lock plasma reactor
réacteur à plasma comportant un sas de chargement automatique à cassette pour pastille unique

automated single slice powered load lock plasma reactor.
réacteur à plasma pour traitement tranche par tranche comportant un sas d'entrée automatisé.