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procede de refusion de verre au borophosphosilicate
reflow-prozess einer bpsg-schicht

procédé et dispositif de contrÔle de la teneur en bore du borophosphosilicate
verfahren und vorrichtung zur Überwachung des borgehalts in borophosphosilikat

composant semiconducteur avec une couche de verre borophosphosilicate et sa méthode de fabrication.
halbleiterbauelement mit einer bor-phosphorsilikat-glasschicht und ihr herstellungsverfahren.

procede de depot en deux etapes de verre au borophosphosilicate, dispositifs et appareil correspondants
ein zwei-schritt-abscheidungsverfahren fÜr borphosphorsilikatglas und entsprechende bauelemente und apparatur zur abscheidung

materiau composite a base de borophosphosilicate pouvant notamment constituer une membrane electrolytique et procede de fabrication
kompositmaterial auf basis von borofosfosilikat fÜr elektrolytische membran und herstellungsverfahren

dispositif selon la revendication 3, où la couche se trouvant au-dessus est du verre borophosphosilicate.
bildsensor nach anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die oberste schicht aus borphosphorsilikatglas besteht.

abrasif pour le polissage mécano-chimique d'une couche de matériau semi-conducteur à base de silicium tel que le silicium polycristallin, le silicium épitaxié ou le silicium amorphe ou à base d'oxyde de silicium dopé tel que le verre de phosphosilicate (psg) ou le verre de borophosphosilicate (bpsg), comprenant un tissu imprégné d'une composition liquide abrasive contenant une suspension aqueuse de silice colloïdale comprenant des particules individualisées non liées entre elles par des liaisons siloxanes, de diamètre compris entre 3 et 250 nanomètres, de ph compris entre 6 et 8.
abrasivmittel zum chemisch-mechanischen polieren einer schicht aus halbleitermaterial auf der basis von silicium, wie etwa polykristallinem silicium, epitaktischem silicium oder amorphem silicium, oder auf der basis dotierten siliciumoxids, wie etwa phosphorsilikatglas (psg) oder borphosphorsilikatglas (bpsg), ein gewebe umfassend, das mit einer abrasiven flüssigen zusammensetzung getränkt ist, die eine wässrige suspension kolloidalen siliciumdioxids enthält, die einzelne, nicht durch siloxanbindungen aneinander gebundene partikel mit einem durchmesser zwischen 3 und 250 nanometern aufweist, wobei der ph-wert zwischen 6 und 8 enthalten ist.