Je was op zoek naar: commde (Frans - Duits)

dispositif selon l'une ou plusieurs des revendications précédentes, caractérisé en ce que le chariot de transport (3) transporte simultanément tant dans la première direction qu'également dans la deuxième direction (a, b) au moins l'un des supports de substrats discoïdes circulaires disposés rigidement sur l'un des bras de transport (4, 4', 4''; 5, 5', 5''), agissant simultanément commde couvercles de fermeture (28), pour l'ouverture d'introduction, respectivement d'extraction de la chambre à vide, d'une chambre de revêtement sous vide (8).
vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der transportschlitten (3) substrate (2) gleichzeitig sowohl in der einen als auch in der anderen richtung (a, b) transportiert, wobei zumindest einer der an einem der transportarme (4, 4', 4''; 5, 5', 5'') fest angeordneten kreisscheibenförmigen substrathalter gleichzeitig als verschlußdeckel (28) für die ein- bzw. ausschleusöffnung der vakuumkammer einer vakuumbeschichtungskammer (8) wirkt.