Je was op zoek naar: pelicule (Frans - Engels)

adhesif amovible, sensible a la pression de type a emulsion et pelicule de protection de surface fabriquee au moyen de cet adhesif
emulsion-type removable pressure-sensitive adhesive and surface protective film made by using the same

ainsi qu'une seconde sélectivité qui est le rapport entre la vitesse de polissage d'une pelicule isolante d'oxyde et la vitesse de polissage de la pellicule de nitrure de silicium.
as well as a second selectivity that is the ratio of the polishing rate of an oxide insulating film to the polishing rate of the silicon nitride film.

l’invention concerne une composition servant à polir le nitrure de silicium, qui contient une silice colloïdale et un agent de polissage qui est composé d’un composé d’acide phosphorique et d’un composé d’acide sulfurique. du fait qu’elle contient en outre un agent oxydant, la composition contrôle une première sélectivité qui est le rapport entre la vitesse de polissage d’une pellicule métallique et la vitesse de polissage d’une pellicule de nitrure de silicium, ainsi qu’une seconde sélectivité qui est le rapport entre la vitesse de polissage d’une pelicule isolante d’oxyde et la vitesse de polissage de la pellicule de nitrure de silicium.
a composition for polishing silicon nitride, which contains a colloidal silica and a polishing aid that is composed of a phosphoric acid compound and a sulfuric acid compound. by additionally containing an oxidizing agent, the composition controls a first selectivity that is the ratio of the polishing rate of a metal film to the polishing rate of a silicon nitride film, as well as a second selectivity that is the ratio of the polishing rate of an oxide insulating film to the polishing rate of the silicon nitride film.