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projektionslinsensystem
système de lentilles de projection

projektionslinsensystem.
système de lentilles pour projection.

optisches projektionslinsensystem
système optique de projection à lentilles

verbessertes farb-tv projektionslinsensystem
système de lentilles de projection améliorée pour tv en couleur

vorrichtung nach anspruch 1, die des weiteren ein projektionslinsensystem zum projizieren von bildlicht von der mindestens einen abbildungsvorrichtung aufweist.
dispositif selon la revendication 1, comprenant en outre un système de lentilles de projection pour projeter la lumière d'une image depuis l'au moins un imageur.

gerät nach anspruch 5, dadurch gekennzeichnet , daß die zusätzliche linse zwischen dem projektionslinsensystem und einer maskenjustiermarke angeordnet ist.
appareil selon la revendication 5, caractérisé en ce que la lentille supplémentaire est disposée entre le système de lentilles de projection et un repère d'alignement de masque.

gerät nach einem der ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet , daß das belichtungssystem ein projektionsstrahlenbündel liefert, mit ringförmigem querschnitt in der ebene des korrekturelements in dem projektionslinsensystem.
appareil selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que dans le système de lentilles de projection le système d'éclairage fournit un faisceau de projection présentant une coupe transversale annulaire dans le plan de l'élément de correction.

vorrichtung gemäß anspruch 6, welche weiterhin ein projektionslinsensystem (14) aufweist, um das bild der gestreckten Öffnung oder der reihe von Öffnungen auf das werkstück zu projizieren.
appareil selon la revendication 6, comprenant en outre un système de lentille de projection (14) destiné à projeter sur la pièce à traiter l'image de l'ouverture allongée ou de ladite rangée d'ouvertures.

lithographisches projektionsgerät nach anspruch 1 oder 2, worin mit ausnahme der meßspiegel die komponenten der interferometersysteme und die weiteren sensoren in einem starren rahmen angeordnet sind, in welchem das projektionslinsensystem starr befestigt ist, wobei der rahmen in einer dynamisch isolierten art und weise von den anderen komponenten des gerätes aufgehängt ist.
dispositif de projection lithographique selon la revendication 1 ou 2, dans lequel, à l'exception des miroirs de mesure, les composants des systèmes interférométriques et les capteurs supplémentaires sont agencés dans un même cadre rigide dans lequel le système de lentilles de projection est lui aussi fixé de manière rigide, ledit cadre étant suspendu d'une manière dynamiquement isolée par rapport aux autres composants du dispositif.

apparat für die wiederholte abbildung eines maskenmusters (c) auf ein substrat (w), mit einem maskentisch (mt), einem substrattisch (wt) und einem sich zwischen diesen tischen befindenden projektionslinsensystem (pl), gekennzeichnet durch ein optisches abbildungssystem mit einer vergrößerungsfehler-detektionsvorrichtung, wie in einem der vorhergehenden ansprüche beschrieben, wobei das hauptlinsensystem das projektionslinsensystem (pl) enthält und die axiale position des maskentisches (mt) mit hilfe eines von der vergrößerungsfehler-detektionsvorrichtung gelieferten vergrößerungsfehlersignals (sme) relativ zum projektionslinsensystem (pl) einstellbar ist.
dispositif conçu pour la photo-répétition directe d'une configuration de masque (c) sur un substrat (w), comportant une table de masque (mt), une table de substrat (wt) ainsi qu'un système de lentilles de projection (pl) interposé entre lesdites tables, caractérisé par un dispositif de formation d'image comportant un dispositif de détection d'erreur de grossissement comme décrit dans l'une des revendications précédentes, le sustème de lentillesprincipal comportant le système de lentilles de projection principal (pl) et la position axiale de la table de masque (mt) étant ajustable relativement au système de lentilles de projection (pl) et la table de substrat (wt) par l'intermédiaire d'un signal d'erreur de grossissement (sme) fourni par le dispositif de détection d'erreurs de grossissement.