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équipement microlithographique
mikrolithographische anlagen

appareil de projection microlithographique
mikrolithographischer projektionsapparat

lentille de projection microlithographique à 8 miroirs
8-spiegel-mikrolithographie-projektionsobjektiv

objectif, notamment objectif de projection microlithographique
objektiv, insbesondere projektionsobjektiv fÜr die mikrolithographie

illumination de projection microlithographique avec polarisation tangentielle
mikrolithographie-projektionsbelichtung mit tangentialer polarisation

système optique d'un appareil de projection microlithographique
optisches system eines projektions-mikrolithographie apparats

objectif de réduction microlithographique comprenant cinq groupes de lentilles
mikrolithographisches reduktionsobjektiv mit fünf linsengruppen

systeme d'eclairage pour appareil d'exposition microlithographique
beleuchtungssystem fÜr eine mikrolithographische belichtungsvorrichtung

détecteur de position et appareil microlithographique comprenant celui-ci
positionsdetektor und diesen enthaltendes mikrolithographisches gerät

objectif de projection microlithographique et appareil d' exposition par projection
mikrolithographie-projektionsobjektiveinrichtung sowie projektionsbelichtungsanlage

compensateur de polarisation et dispositif de projection microlithographique avec compensateur de polarisation
polarisations-kompensator und mikrolithographie-projektionsanlage mit polarisations-kompensator

systeme d'eclairage pour installation d'exposition par projection microlithographique
beleuchtungssystem fÜr eine mikrolithographie-projektionsbelichtungsanlage

dispositif d'eclairage pour une installation d'exposition par projection microlithographique
beleuchtungseinrichtung fÜr eine mikrolithographische projektionsbelichtungsanlage

méthode microlithographique pour produire des motifs en photorésist épais et à parois verticales.
mikrolithographisches verfahren für die herstellung dicker fororesistmuster mit vertikalen wänden.

appareil de projection microlithographique utilisant un dispositif pour la production d'une polarisation radiale
mikrolithographie-projektionsbelichtungsanlage mit radial-polarisations-drehender optischer anordnung

système d'illumination microlithographique et système de projection microlithographique muni de celui-ci
mikrolithographisches beleuchtungssystem und damit versehene mikrolithographische projektionsbelichtungsanlage

appareil d'illumination microlithographique par projection utilisant un dispositif pour la production de la polarisation radiale
mikrolithographie-projektionsbelichtungsanlage mit radial-polarisations-drehender optischer anordnung

element optique d'emission et objectif destine a un appareil d'exposition par projection microlithographique
optisches sendeelement und objektiv fÜr eine belichtungsvorrichtung fÜr mikrolithographische projektionen

dispositif à objectifs de projection microlithographique selon la revendication 17, caractérisé en ce que tous les miroirs sont de réalisation asphérique.
mikrolithographie-projektionsobjektiveinrichtung nach anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß sämtliche spiegel asphärisch ausgebildet sind.

appareil d'exposition microlithographique utilisant une lumiere polarisee et systeme de projection microlithographique equipe de miroirs concaves primaire et secondaire
mikrolithografisches belichtungsgerÄt unter verwendung von polarisiertem licht und mikrolithografisches projektionssystem mit primÄren und sekundÄren hohlspiegeln