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appareil d'illumination microlithographique par projection utilisant un dispositif pour la production de la polarisation radiale
mikrolithographie-projektionsbelichtungsanlage mit radial-polarisations-drehender optischer anordnung
dispositif à objectifs de projection microlithographique selon la revendication 17, caractérisé en ce que tous les miroirs sont de réalisation asphérique.
mikrolithographie-projektionsobjektiveinrichtung nach anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß sämtliche spiegel asphärisch ausgebildet sind.
appareil d'exposition microlithographique utilisant une lumiere polarisee et systeme de projection microlithographique equipe de miroirs concaves primaire et secondaire
mikrolithografisches belichtungsgerÄt unter verwendung von polarisiertem licht und mikrolithografisches projektionssystem mit primÄren und sekundÄren hohlspiegeln