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ce sublimateur comprend une plaque frittée et peut être porté à la température désirée par un bain chauffé 2.
this sublimator comprises a fritted plate and may be heated to the desired temperature by a heating bath 2 .
le protocole de mise en oeuvre des exemples concernant la préparation des catalyseurs par cvd est le suivant : une masse ma de précurseur est introduite dans le sublimateur 1.
[0068] the procedure for implementing the examples relating to the preparation of the catalysts by cvd is as follows: a mass ma of precursor is added to the sublimator 1 .
(i) un sublimateur doté d'une cavité permettant de recevoir un matériau source à sublimer et de sublimer ledit matériau source
(i) a sublimator having a cavity for receiving a source material to be sublimated and for sublimating the source material
un sublimateur à admission par le fond et évacuation par le haut comporte plusieurs passages internes joignant l'admission à l'évacuation, sans segment descendant
a sublimator has a bottom inlet, a top outlet and several internal paths connecting the inlet and the outlet, said internal paths having no descending parts
ce vide est par exemple réalisé par l'utilisation d'une pompe turbo-moléculaire assistée d'un sublimateur de titane.
this vacuum is, for example, created by using a turbomolecular pump assisted by a titanium sublimator.
exemple 5 : fasidotril forme iii un sublimateur d'un diamètre intérieur de 45 mm contenant 2 g de fasidotril est chauffé sous vide à une pression de 0,1 mm de hg.
example 5 [0048] fasidotril form iii [0049] a sublimator having an inner diameter of 45 mm, containing 2 g of fasidotril is heated under vacuum at a pressure of 0.1 mmhg.
un second conduit relie l'évacuation du sublimateur à l'admission du séparateur, l'évacuation par le fond du séparateur étant reliée à la première admission du réservoir de mélange
a second conduit connects the outlet of the sublimator to the inlet of the separator, the bottom outlet of the separator being connected to the first inlet of the mixing tank
(iii) une chambre d'ionisation servant à ioniser le matériau source sublimé, cette chambre d'ionisation se situant à une distance éloignée du sublimateur
(iii) an ionization chamber for ionizing the sublimated source material, the ionization chamber located remotely from the sublimator
l'invention se rapporte à une source d'ions pour un implanteur ionique. cette source d'ions comprend : (i) un sublimateur (52) doté d'une cavité (66) permettant de recevoir un matériau source (68) à sublimer et de sublimer ledit matériau source ; (ii) un injecteur de gaz situé dans la cavité (66) ; (iii) une chambre d'ionisation (58) servant à ioniser le matériau source sublimé, cette chambre d'ionisation se situant à une distance éloignée du sublimateur ; (iv) et un orifice d'alimentation (62) afin de connecter le sublimateur (52) à la chambre d'ionisation (58). le gaz injecté dans la cavité peut être soit de l'hélium soit de l'hydrogène. il est fabriqué de manière à améliorer le pouvoir de transfert thermique entre les parois (64) du sublimateur (52) et le matériau source (68).
an ion source for an ion implanter is provided, comprising: (i) a sublimator (52) having a cavity (66) for receiving a source material (68) to be sublimated and for sublimating the source material; (ii) a gas injector (104) for injecting gas into the cavity (66); (iii) an ionization chamber (58) for ionizing the sublimated source material, the ionization chamber located remotely from the sublimator; and (iv) a feed tube (62) for connecting the sublimator (52) to the ionization chamber (58). the gas injected into the cavity may be either helium or hydrogen, and is designed to improve the heat transferability between walls (64) of the sublimator (52) and the source material (68).