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error cancelling comparator based switch capacitor circuit and method thereof
circuit à capacité commutée basé sur un comparateur de suppression d'erreur, et son son procédé

mτ corresponds to the maximum permissible delay for the error cancelling function.
mτ correspond au retard maximal allouable à la fonction d'annulation d'erreur.

the gauge includes an inductive sensor, and the associated circuit includes automatically adjustable error cancelling devices
l'étalon comprend un capteur inductif et le circuit associé comprend des dispositifs d'annulation d'erreur automatiquement réglables

form-error-cancelling mirror-support devices and related methods, and microlithography systems comprising same
support de miroir avec correction d'erreurs de forme et ses méthodes, et système microlithographique utilisant les mêmes

the gauge includes an inductive sensor (75, 77), and the associated circuit includes automatically adjustable error cancelling devices (177, 179).
l'étalon comprend un capteur inductif (75, 77) et le circuit associé comprend des dispositifs (177, 179) d'annulation d'erreur automatiquement réglables.

the method according to claim 3, characterized in that the phase error cancelling step includes cancelling any of the plurality of phase errors equal to or smaller than the reference phase error by deleting the pulse waveforms of the plurality of phase difference signals using a capacitor.
procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'étape d'annulation d'erreur de phase inclut l'annulation de certaines de la pluralité d'erreurs de phase égales ou inférieures à l'erreur de phase de référence en supprimant les formes d'onde de la pluralité de signaux de différence de phase en utilisant un condensateur.

apparatus according to any preceding claim, and further comprising error cancelling means for, when an error occurs in said recorder so that operation of said recorder terminates, causing said recorder to stand by in the state after the end of the first initialization process.
appareil selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant en outre un moyen d'annulation d'erreur pour amener ledit enregistreur, lorsqu'une erreur se produit dans ledit enregistreur de telle sorte que le fonctionnement dudit enregistreur prend fin, à attendre dans l'état ultérieur à la fin du premier traitement d'initialisation.

the method according to claim 1, characterized by a step of generating a phase difference signal according to a phase difference between the reference signal and the comparison signal; wherein the phase error cancelling step includes cancelling a plurality of phase difference signals generated according to phase errors equal to or smaller than the reference phase error.
procédé selon la revendication 1, caractérisé par une étape de génération d'un signal de différence de phase selon une différence de phase entre le signal de référence et le signal de comparaison ; dans lequel l'étape d'annulation d'erreur de phase inclut l'annulation d'une pluralité de signaux de différence de phase générés selon les erreurs de phase égales ou inférieures à l'erreur de phase de référence.

the method according to claim 1, characterized by a step of generating a plurality of phase difference signals according to phase errors equal to or smaller than the reference phase error, each phase difference signal having a pulse waveform; wherein the phase error cancelling step includes cancelling any of the plurality of phase errors equal to or smaller than the reference phase error by cancelling pulse waveforms of the plurality of phase difference signals.
procédé selon la revendication 1, caractérisé par une étape de génération d'une pluralité de signaux de différence de phase selon les erreurs de phase égales ou inférieures à l'erreur de phase de référence, chaque signal de différence de phase ayant une forme d'onde à impulsion ; dans lequel l'étape d'annulation de l'erreur de phase inclut l'annulation de l'une de la pluralité d'erreurs de phase égales ou inférieures à l'erreur de phase de référence en annulant les formes d'onde de la pluralité de signaux de différence de phase.

a portable metrological instrument for measuring surface finish parameters has a main housing (1) which sits on a workbench (5). a slidable arm (3) can be extended or retracted over the bench (5) so as to move a stylus (21) over a workpiece (25). the stylus (21) is fitted to a gauge (19) mounted to the end of the arm (3). the mounting includes a vertically movable slider (15) which incorporates a mechanism for lifting the stylus (21) away from the workpiece (25) and lowering it back. the operation of the instrument is controlled by modular software which can be reprogrammed using an external device, and the machine is operated by a control panel (37) on the housing (1) or by an identical control panel (53) on a remote controller (55). the gauge includes an inductive sensor (75, 77), and the associated circuit includes automatically adjustable error cancelling devices (177, 179). the control system uses the sensed position of the arm (3) to estimate the speed of the motor (145) which drives the arm (3), avoiding the need for a shaft encoder on the motor (145).
un instrument métrologique portable, permettant de mesurer des paramètres de finition de surface, comprend un corps principal (1) qui prend appui sur un établi (5). un bras coulissant (3) peut être étendu ou rentré par rapport à l'établi (5) afin de déplacer un palpeur (21) sur une pièce (25). le palpeur (21) est fixé à un étalon (19) monté sur l'extrémité du bras (3). l'élément de montage comprend une coulisse (15) verticalement mobile qui contient un mécanisme permettant de soulever le palpeur (21) par rapport à la pièce (25) et de l'abaisser à nouveau. l'actionnement de l'instrument est commandé par un logiciel modulaire qui peut être reprogrammé au moyen d'un dispositif externe, et l'appareil est actionné par un tableau de commande (37) situé sur le corps (1) ou par un tableau de commande identique (53) situé sur un contrôleur éloigné (55). l'étalon comprend un capteur inductif (75, 77) et le circuit associé comprend des dispositifs (177, 179) d'annulation d'erreur automatiquement réglables. le système de commande utilise la position détectée du bras (3) pour évaluer la vitesse du moteur (145) entraînant ce dernier (3), ce qui évite l'utilisation d'un codeur de position angulaire sur le moteur (145).