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meef meef (1/5/2012 10:51:00 am)
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disclosed is a radiation-sensitive resin composition which has excellent sensitivity and can keep an meef value at a satisfactory level
l'invention concerne une composition de résine sensible au rayonnement ayant une excellente sensibilité et pouvant conserver une valeur meef à un niveau satisfaisant

disclosed is a radiation-sensitive resin composition which has excellent sensitivity and can keep an meef value at a satisfactory level. specifically disclosed is a radiation-sensitive resin composition which comprises: a resin (a1) having a repeating unit represented by the formula (1-1) and a repeating unit represented by the formula (1-2); and a radiation-sensitive acid generator agent (b) and which enables to reduce a mask error factor. (1-1) (1-2) wherein r1, r2 and r3 independently represent a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms; r4 represents a hydrogen atom, a linear or branched alkyl group having 2 to 4 carbon atoms, a linear or branched fluorinated alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or a linear or branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms; and q represent an integer of 0 to 3.
l'invention concerne une composition de résine sensible au rayonnement ayant une excellente sensibilité et pouvant conserver une valeur meef à un niveau satisfaisant. l'invention concerne spécifiquement une composition de résine sensible au rayonnement qui comprend : une résine (a1) ayant une unité de répétition représentée par la formule (1-1) et une unité de répétition représentée par la formule (1-2) ; et un agent générateur d'acide sensible au rayonnement (b) et qui permet de réduire un facteur d'erreur de masque. (1-1) (1-2) dans lesquelles r1, r2 et r3 représentent indépendamment un groupe alkyle linéaire ou ramifié ayant 1 à 4 atomes de carbone ; r4 représente un atome d'hydrogène, un groupe alkyle linéaire ou ramifié ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkyle fluoré linéaire ou ramifié ayant 1 à 4 atomes de carbone, ou un groupe alcoxy linéaire ou ramifié ayant 1 à 4 atomes de carbone ; et q représente un entier de 0 à 3.