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1040 g of polypropylene glycol having trimethoxysilylpropyl end groups are obtained.
es werden 1040 g eines polypropylenglycols mit trimethoxysilylpropyl-endgruppen erhalten.

a method according to claim 1 wherein the resist film comprises copolymer of 3-trimethoxysilylpropyl methacrylate with ethylenic unsaturated monomer not having a substituted silyl group, the ethylenic unsaturated monomer preferably comprising glycidyl methacrylate.
verfahren nach anspruch 1, in dem der resistfilm ein copolymer aus 3-trimethoxysilylpropylmethacrylat und einem ungesättigten ethylenmonomeren, das keine substituierte silylgruppe aufweist, enthält, wobei das ungesättigte ethylenmonomer vorzugsweise glycidylmethacrylat ist.

a method according to claim 13,wherein said organofunctional silane is 3-(trimethoxysilyl) propyldimethyloctadecylammonium chloride or 3-(trimethoxysilylpropyl) didecylmethylammonium chloride.
verfahren nach anspruch 13, worin das genannte organofunktionelle silan 3-(trimethoxysilyl)propyldimethyloctadecylammoniumchlorid oder 3-(trimethoxysilylpropyl)didecylmethylammoniumchlorid ist.

then 176 g (0.5 mol) of diethyl n-(3-trimethoxysilylpropyl)-aspartate were added dropwise at 50 in example 1 were added to the prepolymer at 50 room temperature.
anschließend werden 176 g (0,5 mol) n-(3-trimethoxysilylpropyl)-asparaginsäurediethylester bei 50°c zugetropft. zu dem 50°c warmen prepolymer werden 2 050 g organosol (bayer ag, 29,3 %ige kolloidale lösung von siliciumoxid in isopropanol) gegeben und auf raumtemperatur abgekühlt.