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imagerie de signaux fluorescents en utilisant la télécentricité
imaging fluorescence signals using telecentricity

correcteur de tÉlÉcentricitÉ pour un systÈme de projection microlithographique
telecentricity corrector for microlithographic projection system

un objectif zoom ayant un nombre réduit de lentilles et conservant facilement sa télécentricité
a zoom lens having fewer constituting lenses and easily keeping telecentricity

la présente invention concerne un objectif zoom ayant un nombre réduit de lentilles et conservant facilement sa télécentricité.
a zoom lens having fewer constituting lenses and easily keeping telecentricity.

la donnée de superposition est traitée avec un algorithme de décalage de pente en vue de la détermination simultanée de point focal et de télécentricité de courbe en fonction de la position de champ.
the overlay data is processed with a slope-shift algorithm for the simultaneous determination of both focus and source telecentricity as a function of field position.

dans certains modes de réalisation, les uniformités de télécentricité et/ou d'éclairement énergétique ne sont pas affectées par cette correction.
in some embodiments the telecentricity and/or the irradiance uniformity is not affected by this correction.

système selon la revendication 1, dans lequel des moyens de déflexion sont positionnés au-dessus de ladite lentille à immersion à axe variable pour maintenir la télécentricité dudit faisceau.
a system according to claim 1 wherein deflection means are positioned above said variable axis immersion lens for maintaining telecentricity of said beam.

systÈme et procÉdÉs de dÉtermination de point focal et de tÉlÉcentricitÉ, amÉlioration d'effets induits par la mÉtrologie et application À la dÉtermination de courbes de bossung de prÉcision
system and methods for determination of focus and telecentricity, amelioration of metrology induced effects and application to determination of precision bossing curves

dans la version préférée, les deux objectifs ci-dessus présentent côté objet une télécentricité qui élimine pratiquement le vignettage de caractéristiques hors axe de l'objet spéculaire et donc pratiquement les profondeurs spéculaires erronées
in preferred embodiments, both the projection lens assembly and the viewing lens assembly exhibit object-side telecentricity so as to substantially eliminate vignetting of off-axis specular object features, and consequently, substantially eliminate specular false depth

la télécentricité de l'éclairage et les ouvertures essentiellement fixes sont maintenues au niveau de l'élément optique de diffusion et du réticule sur l'ensemble de la gamme de zoom.
illumination telecentricity and substantially fixed numerical apertures are maintained at both the scattering optical element and the reticle throughout the zoom range.

la présente invention concerne un correcteur de télécentricité qui est intégré à un système de projection microlithographique pour atteindre des cibles de télécentricité à la sortie du système de projection microlithographique. le correcteur de télécentricité est situé entre un illuminateur et une lentille de projection du système de projection, de préférence immédiatement devant un réticule permettant de commander des distributions angulaires de la lumière éclairant le réticule.
a telecentricity corrector is incorporated into a microlithographic projection system to achieve telecentricity targets at the output of the microlithographic projection system. the telecentricity corrector is located between an illuminator and a projection lens of the projection system, preferably just in advance of a reticle for controlling angular distributions of light illuminating the reticle.

chacun des pixels comprend un réflecteur permettant de réfléchir la lumière de la première source lumineuse dans un cône possédant un angle d'ouverture et un axe qui dépend de la position du pixel dans l'écran et sur la télécentricité de l'optique d'imagerie
each of the pixels includes a reflector for reflecting light from the first light source into a cone having an opening angle and an axis which depends on the position of the pixel in the display and on the telecentricity of the imaging optic