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streuung, kleinwinkel-
small angle scattering

kleinwinkel-interferenzverfahren und gerÄt zur echtzeitbestimmung der Ätzrate
shallow-angle interference process and apparatus for determining real-time etching rate

verfahren nach anspruch 1, wobei das erste lichtstreuungssignal ein kleinwinkel-lichtstreuungssignal ist.
the method of claim 1, wherein the first light scatter signal is a low angle light scatter signal.

„die nanotechnologie wird maßgeblich die entwicklungen der zukunft beeinflussen, von der brennstoffzelle bis zu solarpanels“, sagt prof. helmut dosch, vorsitzender des desy-direktoriums. „mit hilfe der vielfältigen untersuchungsmethoden an desys forschungsanlagen, von der tomografie bis zu kleinwinkel-streuexperimenten, können wir die wissenschaftlichen fragestellungen der nanotechnologie optimal bedienen und so einen wichtigen beitrag leisten, um diese zukunftstechnologie voranzubringen.“
“nanotechnology will have a considerable impact on future developments, from fuel cells through to solar panels,” said professor helmut dosch, chairman of the desy board of directors. “with the help of a broad range of analysis methods at desys research facilities - including tomography and small angle scattering experiments – we are able to ideally meet the nanotechnology research issues and make an important contribution to promote this future-oriented technology.”