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teilchenquelle
ion source

teilchenquelle für eine reaktive ionenstrahlätz- oder plasmadepositionsanlage.
particle source for a reactive ion beam etching or plasma deposition device.

teilchenquelle, insbesondere für reaktive ionenätz- und plasmaunterstützte cvd-verfahren.
particle source for reactive ion beam etching and plasma-assisted cvd processing.

bei desy wird die hochleistungs-teilchenquelle für den european xfel entwickelt und optimiert.
desy develops and optimizes the high-performance electron source for the x-ray free-electron laser european xfel.

teilchenstrahlgerÄt mit einer im ultrahochvakuum zu betreibenden teilchenquelle und kaskadenfÖrmige pumpanordnung fÜr ein solches teilchenstrahlgerÄt
particle radiation device comprising a particle source that is operated in an ultrahigh vacuum and a cascade pump assembly for a particle radiation device of this type

es kann statt eines lasers eine andere energiequelle, wie z.b. eine andere lichtquelle oder z.b. auch eine elektronenquelle oder eine andere teilchenquelle verwendet werden.
instead of a laser a different energy source such as another light source or e.g. also an electron source or another particle source may be used.

ihr ziel ist es, die strahlqualität und betriebsparameter, beispielsweise die betriebszuverlässigkeit, der teilchenquellen zu optimieren, um den hohen anforderungen der neuen anlagen gerecht zu werden.
their aim is to optimize the beam quality and operating parameters, such as the reliability, of the particle sources in order to meet the high requirements of the new facilities.