Şunu aradınız:: elektronenenergien (Almanca - İngilizce)

die vorwärtsstreuung kann durch die nutzung von höhere elektronenenergien oder dünner resistschichten verringert werden, die erzeugung von sekundärelektronen ist jedoch unvermeidlich.
the forward scattering can be decreased by using higher energy electrons or thinner resist, but the generation of secondary electrons is inevitable.

beschleuniger, geeignet zur erzeugung elektromagnetischer strahlung, erzeugt durch bremsstrahlung mit elektronenenergien größer/gleich 2 mev, und systeme, die solche beschleuniger enthalten.
accelerators capable of delivering electromagnetic radiation produced by bremsstrahlung from accelerated electrons of 2 mev or greater, and systems containing those accelerators.

b) beschleuniger, geeignet zur erzeugung elektromagnetischer strahlung, erzeugt durch bremsstrahlung mit elektronenenergien größer/gleich 2 mev, und systeme, die solche beschleuniger enthalten.
accelerators capable of delivering electromagnetic radiation produced by bremsstrahlung from accelerated electrons of 2 mev or greater, and systems containing those accelerators.

elektronenenergie (beschleunigungsspannung) größer als 1 mev,
a beam energy (accelerating voltage) exceeding 1 mev;