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vorionisation
glow priming

abscheidung durch kathodische magnetronpulverisierung in pulsmodus mit vorionisation
deposition by magnetron cathodic pulverization in a pulsed mode with preionization

durch die aufnahme des gegenstands des patentanspruchs 7 in der erteilten fassung in den anspruch 1 des zweiten hilfsantrags verlagert sich der schwerpunkt der beanspruchten erfindung von technischen mitteln zur optimierung der strömungsgeschwindigkeit des lasermedium-gases hin zu mitteln zum anlegen eines zur vorionisation dienenden trigger-potentials.
the inclusion in claim 1 of the second auxiliary request of the subject-matter of claim 7 of the patent as granted has the effect of shifting the centre of gravity of the claimed invention from technical means for improving the flow rate of the laser medium gas to means for applying a pre-ionisation trigger potential to the laser discharge.