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disilane
disilane

process for the preparation of disilane
procédé de préparation de disilane

process for preparing disilane from monosilane
procédé de préparation de disilane à partir de monosilane

process for the preparation of hexaalkyl disilane
procédé de préparation d'hexaalkyldisilane

photochemical process for the preparation of disilane.
procédé photochimique de préparation de disilane.

the method of claim 4 wherein said silane is disilane.
procédé selon la revendication 4, dans lequel ledit silane est le disilane.

a method according to claim 5 wherein the product disilane is hexamethyldisilane
procédé selon la revendication 5, dans lequel le disilane produit est l'hexaméthyldisilane

examples synthesis of disilane was carried out several times with the aid of the reactor just described.
exemples a l'aide du réacteur qui vient d'être décrit, on a conduit plusieurs synthèses de disilane.

a method according to claim 1, wherein said silicon compound is selected from silane and disilane.
un procédé selon la revendication 1 dans lequel ledit composé de silicium est choisi parmi le silane et le disilane.

monosilane or disilane derivatives and method for low temperature deposition of silicon-containing films using the same
derives de monosilane ou de disilane et procede de depot chimique en phase vapeur a faible temperature de films contenant du silicium utilisant lesdits derives

poly 1,2,2-trimethyl-1-phenyl disilane and method for producing the same
poly 1,2,2-triméthyl-1-phényl disilane et procédé de préparation

field of the invention the invention relates to a process for preparing disilane from monosilane by electric discharge and cryogenic trapping.
l'invention concerne un procédé de préparation du disilane à partir du monosilane par décharge électrique et piégeage cryogénique.

process variations include film formation with and without plasma enhancement, and provision of silicon to films be either silane or disilane.
les variantes du procédé consistent à former le film avec ou sans enrichissement au plasma, et à ajouter du silicium aux films, par l'intermédiaire de silane ou de disilane.

commercially available disilane is not only expensive, but is also often contaminated by impurities, such as chlorosilanes, siloxanes and hydrocarbon compounds.
le disilane disponible sur le marché est non seulement cher mais aussi souvent contaminé par des impuretés telles que des chlorosilanes, des siloxanes et des composés hydrocarbonés.

in another embodiment, a higher order silanes, such as disilane and trisilane, aid in reducing hydrogen content for a given deposition rate.
dans un autre mode de réalisation, un silane d'ordre supérieur, tel que disilane et trisilane, contribue à réduire la teneur en hydrogène pour une vitesse de dépôt donnée.

the method of claim 1 wherein said silicon source gas is selected from silane, disilane, dichlorosilane, trichlorosilane, tetrachlorosilane, and hexachlorodisilane.
procédé selon la revendication 1, dans lequel ledit gaz de source de silicium est choisi parmi les silane, disilane, dichlorosilane, trichlorosilane, tétrachlorosilane et hexachlorodisilane.

process according to claim 3, characterised in that 1,2-dimethyltetramethoxydisilane, optionally in admixture with 1,1,2-trimethyltrimethoxydisilane, is used as disilane.
procédé selon la revendication 3 caractérisé en ce qu'on utilise, comme disilane, du 1,2-diméthyltétraméthoxy-disilane, éventuellement en mélange avec du 1,1,2-triméthyl-triméthoxy-disilane.

method for producing disilanes
méthode pour la préparation de disilanes