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the process of claim 11, wherein said silicon hydride is sih₄.
procédé de la revendication 11, caractérisé en ce que ledit hydrure de silicium est sih₄.
最后更新： 2014-12-04
使用频率： 6
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process of claim 2 wherein said silane is sih₄ 1.8 vol.% mixed with helium.
procédé selon la revendication 2 dans lequel ledit silane est du sih₄ à 1,8 % en volume mélangé avec de l'hélium.
最后更新： 2014-12-04
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the degree of conversion of the sih functional groups is then 100 mol %.
le taux de transformation des fonctions sih est alors de 100% en mole.
最后更新： 2014-12-03
使用频率： 10
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