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hochfrequenzeinspeisung

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Über die hochfrequenzeinspeisung 32 wird eine frequenz von beispielsweise 13,56 mhz angelegt und ein plasma erzeugt.

Englisch

by means of the radiofrequency feed 32, a frequency of, for example, 13.56 mhz is applied and a plasma is generated.

Letzte Aktualisierung: 2014-12-03
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Deutsch

der generator 28 erzeugt dabei eine frequenz von 2,45 ghz und die hochfrequenzeinspeisung 32 eine frequenz von 13,56 mhz.

Englisch

the generator 28 in this case produces a frequency of 2.45 ghz and the radiofrequency feed 32 produces a frequency of 13.56 mhz.

Letzte Aktualisierung: 2014-12-03
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Deutsch

der drehtrommel 24 ist eine als reaktor dienende einrichtung 26 zugeordnet, die mit einem generator 28 zur mikrowellenplasmaanregung und einer hochfrequenzeinspeisung 32 gekoppelt ist.

Englisch

the rotary drum 24 is assigned a device 26 that serves as a reactor and is coupled to a generator 28 for microwave plasma excitation and a radiofrequency feed 32.

Letzte Aktualisierung: 2014-12-03
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die leistung des generators 28 beträgt 1200 w und die der hochfrequenzeinspeisung 32 600 w. als prozeßgase werden argon, sauerstoff und stickstoff zugeführt und der eingebrachte ausgangsstoff für die dauer von insgesamt 300 s plasmabehandelt.

Englisch

the power of the generator 28 is 1200 w, and that of the radiofrequency feed 32 is 600 w. argon, oxygen and nitrogen are supplied as process gases, and the starting substance which has been introduced is plasma-treated for a duration of 300 s overall.

Letzte Aktualisierung: 2014-12-03
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