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method for limiting divot formation in post shallow trench isolation processes
procede de limitation de formation d'evidement dans des processus d'isolation par tranchee peu profonde
the invention also allows manipulation of shield gas flow to reduce divot formation when making interior cuts
l'invention concerne par ailleurs la manipulation du flux de gaz de protection pour réduire la formation d'évidement au moment de la réalisation de coupures internes