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target body position measuring method for charged particle beam fine pattern exposure system.
méthode pour mesurer la position d'un corps de target d'un système d'exposition d'un modèle précis par un faisceau de particules chargées.
charged particle beam device and method for correcting position with respect to charged particle beam
dispositif À faisceaux de particules chargÉes et procÉdÉ permettant de corriger la position par rapport au faisceau de particules chargÉes
at the second position, the magnetic attraction between the magnetic particle filtration materials is cancelled
a la seconde position, l'attraction magnétique entre les matières de filtration à particules magnétiques est supprimée
method and device for measuring position, particle size and velocity of fine droplet, bubble and particle
procÉdÉ et dispositif pour mesurer la position, dimension particulaire et vitesse d'une fine gouttelette, bulle et particule
cathode plate, position sensitive neutral particle sensor using such a cathode plate, sensing system and camera both using such a sensor
plaque à cathode, détecteur sensible à la position pour particules neutres utilisant une telle plaque à cathode, système détecteur et appareil photographique les deux utilisant un tel détecteur
charged particle beam exposure apparatus having a stage position measurement device
appareil d'exposition par faisceau de particules chargées avec un dispositif de mesure de position d'un support porte-objet
the extruded particles comprising three protrusions each extending from and attached to a central position
les particules extrudées comprenant trois saillies. toutes fixées à une position centrale et se prolongeant à partir de cette dernière