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appareil de traitement dynamique de tranches de semiconducteurs en phase vapeur et par volatilisation de particules
vorrichtung zur herstellung von halbleiterschichten mit dynamischer dampfbehandlung und teilchenverflÜchtigung
dispositif de controle differentiel de masse particulaire avec systeme de correction intrinseque pour les pertes par volatilisation
differentieller teilchenmassenmonitor mit intrinsischer korrektur von flÜchtigkeitsverlusten
procédé suivant la revendication 5, dans lequel l'ingrédient actif est libéré par pression, diffusion ou volatilisation.
verfahren nach anspruch 5, worin der wirkstoff durch druck, diffusion oder verflüchtigung freigegeben wird.
procede permettant de reduire la volatilisation de composants entrant dans la composition de melanges vitrifiables et d'augmenter l'homogeneite du verre
verfahren zur minimierung von verdampfungsverlusten und zur steigerung der homogenitÄt bei der glasherstellung
procédé selon la revendication 1, dans lequel la vapeur combustible est fournie à la zone de combustion par volatilisation à partir de déchets solides et/ou liquides.
verfahren nach anspruch 1, bei dem der verbrennbare dampf der verbrennungszone durch verflüchtigen aus festem und/oder flüssigem abfall zugeführt wird.
procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel une matrice liquide est introduite dans le moule et convertie en solide après le stade de volatilisation.
verfahren nach einem der vorhergehenden ansprüche, bei dem ein flüssiges matrixmaterial in die form eingebracht wird und nach der verflüchtigungsstufe in einen feststoff überführt wird.
procédé selon la revendication 21, caractérisé en ce que l'élévation de la température du tube métallique continu à la température de volatilisation s'effectue essentiellement instantanément.
verfahren nach anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die anhebung der temperatur des endlosen metallrohrs auf die verdampfungstemperatur im wesentlichen sofort erfolgt.