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mehrfache ladungsschleuse
multiple load lock system
Last Update: 2014-11-28
Usage Frequency: 2
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ladungsschleuse und wafertransportsysteme.
load-lock unit and wafer transfer system.
Last Update: 2014-11-28
Usage Frequency: 4
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duale wafer ladungsschleuse
dual wafer load lock
Last Update: 2014-11-28
Usage Frequency: 2
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ladungsschleuse mit äusserer ladungsgebiet
load-lock with external staging area
Last Update: 2014-11-28
Usage Frequency: 2
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tÜrantriebsvorrichtung fÜr substrattrÄger und ladungsschleuse
door drive mechanisms for substrate carrier and load lock
Last Update: 2014-11-28
Usage Frequency: 2
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vorrichtung und verfahren für ladungsschleuse in der halbleiterfertigung
device and method for load locking for semiconductor processing
Last Update: 2014-11-28
Usage Frequency: 2
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ladungsschleuse mit mikroumgebung und methode zur kupplung von einem mikroumgebungsbehälter mit einer prozesskammer.
micro-environment load lock and method for coupling a micro-environment container to a process chamber.
Last Update: 2014-11-28
Usage Frequency: 2
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